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Mini-modual manufacturing environmental 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-013/08
출원번호 US-0925757 (2001-08-09)
발명자 / 주소
  • Petruccelli, Daniel G.
대리인 / 주소
    Randall, Tipton L.
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 14

초록 ▼

A mini-modular manufacturing environmental chamber for processing and transporting semiconductor devices is disclosed. The cylindrical chamber is provided with a conveyer assembly that transports items within the chamber and divides the interior into two sections. Also included within the chamber ar

대표청구항 ▼

A mini-modular manufacturing environmental chamber for processing and transporting semiconductor devices is disclosed. The cylindrical chamber is provided with a conveyer assembly that transports items within the chamber and divides the interior into two sections. Also included within the chamber ar

이 특허에 인용된 특허 (14)

  1. Miura Shinya (Yawara-mura JPX) Miyamoto Michikazu (Yawara-mura JPX), Article carrying apparatus.
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  2. Tanaka Hirokuni (Ooiso JPX), Clean tunnel conveying structure.
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  3. Melgaard Hans L. (Minneapolis MN), Conveyor for a clean room.
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  4. Southworth Peter R. (Mission Viejo CA) Baxter Gregory R. (Orange CA), Conveyor system.
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  5. O\Neill ; deceased Gerard K. (127 McCosh Cir. late of Princeton NJ 08540) O\Neill ; Executrix by Tasha (127 McCosh Cir. Princeton NJ 08540) Hornik ; Executor by Morris (48-50 Connecticut Ave. ; 10006, High speed transport system.
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  6. Bouchaib Pierre (L\Etang la Ville FRX), Installation for treatment of materials for the production of semi-conductors.
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  7. Scott Richard G. (Austin TX) Shackleton Craig R. (Austin TX) Ellis Raymond W. (Austin TX), Integrated building and conveying structure for manufacturing under ultraclean conditions.
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  8. Sinclair James D. (Summit NJ) Jankoski Constance A. (Branchburg NJ), Minienvironment for hazardous process tools.
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  9. Long Curtis C. ; Pape Michael L., Modular cleanroom conduit and method for its use.
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  10. Arzoumanian Philippe (160 Eaton St. Providence RI 02908), Toy tube train.
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  11. Iwasawa Yoshiyuki (Tokyo JPX) Ishida Tsutomu (Tokyo JPX) Harada Hiroshi (Tokyo JPX) Kobayashi Shintaro (Tokyo JPX), Transfer system in a clean room.
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  12. Moody Brian R. (Darwen GB2) Lowe Duncan B. (Mobberley GB2) Lowe Derek W. (Southport GB2), Transport apparatus.
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  13. Matsui Kazumi (Tokyo JPX) Takasue Takashi (Tokyo JPX) Sakakura Nagao (Tokyo JPX), Transportation system using magnetic belt propulsion.
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  14. Miller Kenneth C. (280 Easy St. ; #117 Mountain View CA 94043), Wafer transport device.
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이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Flitsch, Frederick A., Apparatus to support a cleanspace fabricator.
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  2. Flitsch, Frederick A., Method and apparatus for a cleanspace fabricator.
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  3. Flitsch, Frederick A., Method and apparatus for an automated tool handling system for a multilevel cleanspace fabricator.
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  4. Flitsch, Frederick A., Method and apparatus for an automated tool handling system for a multilevel cleanspace fabricator.
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  5. Flitsch,Frederick A., Method and apparatus for an elevator system for a multilevel cleanspace fabricator.
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  6. Flitsch, Frederick, Method and apparatus to support a cleanspace fabricator.
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  7. Flitsch, Frederick A., Method and apparatus to support process tool modules in a cleanspace fabricator.
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  8. Flitsch, Frederick A., Method of forming a cleanspace fabricator.
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  9. Flitsch, Frederick A., Methods and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space.
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  10. Flitsch, Frederick A., Methods and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space.
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