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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0719089 (2001-02-05) |
우선권정보 | JP-0159109 (1998-06-08) |
국제출원번호 | PCT/JP99/03040 (1999-06-08) |
국제공개번호 | WO99/65069 (1999-12-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 3 |
An ion implantation method which can accurately control the effective dose amount even in ion implantation at a very low energy. This ion implantation method comprises the steps of carrying out preamorphization ion implantation for a semiconductor substrate in an ion implantation apparatus; then cle
1. An ion implantation method comprising: a first ion implanting of a surface of a semiconductor substrate to attain an amorphous state; cleaning said surface of the semiconductor substrate subjected to said first ion implanting; exposing said surface of the semiconductor substrate to oxygen fo
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