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Tilt mirror fabry-perot filter system, fabrication process therefor, and method of operation thereof 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G02B-026/02
  • G02B-027/00
출원번호 US-0906495 (2001-07-16)
발명자 / 주소
  • Flanders, Dale C.
출원인 / 주소
  • Axsun Technologies, Inc.
대리인 / 주소
    Houston, J. Grant
인용정보 피인용 횟수 : 24  인용 특허 : 3

초록

A tilt mirror Fabry-Perot tunable filter comprises a frame and a first mirror structure. A tether system connects the first mirror structure to this frame. The tether system is designed to enable the tilting of the first mirror structure relative to an optical axis, in addition to translation of the

대표청구항

A tilt mirror Fabry-Perot tunable filter comprises a frame and a first mirror structure. A tether system connects the first mirror structure to this frame. The tether system is designed to enable the tilting of the first mirror structure relative to an optical axis, in addition to translation of the

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Flanders, Dale C.; Whitney, Peter S.; Le, Minh Van; Miller, Michael F.; Shanfield, Stanley R., Integrated tunable fabry-perot filter and method of making same.
  2. Sneh Anat, Micromachined tunable optical filter with controllable finesse and passband wavelength position.
  3. Greywall Dennis Stanley, Process for fabricating an optical mirror array.

이 특허를 인용한 특허 (24)

  1. Cole, Barrett E.; Marta, Terry, Beam intensity detection in a cavity ring down sensor.
  2. Cole, Barrett E., CRDS mirror for normal incidence fiber optic coupling.
  3. Cole, Barrett E., Cavity enhanced photo acoustic gas sensor.
  4. Cole, Barrett E., Cavity ring-down spectrometer having mirror isolation.
  5. Cox, James Allen; Cole, Barrett E., Compact gas sensor using high reflectance terahertz mirror and related system and method.
  6. Sayyah,Keyvan; Pepper,David M., Dynamic optical tag communicator and system using corner cube modulating retroreflector.
  7. Sayyah,Keyvan; Pepper,David M., Dynamic optical tag communicator and system using corner cube modulating retroreflector.
  8. Fritz, Bernard, Enhanced cavity for a photoacoustic gas sensor.
  9. Cox, James Allen; Higashi, Robert, High reflectance terahertz mirror and related method.
  10. Xia,Tiejun J.; Chen,David Z., Hitless tunable filter.
  11. Edelstein, Alan S., MEMS structure support and release mechanism.
  12. Chi, Robert Chih-Jen, Method of finding drive values for an actuation mechanism.
  13. Cole,Barrett E.; Higashi,Robert E.; Zins,Christopher J.; Krishnankutty,Subash, Multi-substrate package assembly.
  14. Cole, Barrett E.; Marta, Terry; Cox, James Allen; Nusseibeh, Fouad, Multiple wavelength cavity ring down gas sensor.
  15. Cole, Barrett E.; Cox, James A.; Zook, J. David, Optical cavity system having an orthogonal input.
  16. Xia,Tiejun J.; Chen,David Z., Optical filter.
  17. Phillips,Andrew, Piezoelectric flexures for light modulator.
  18. Xia,Tiejun J.; Chen,David Z., Tunable filter.
  19. Cox,James A.; Cole,Barrett E., Tunable laser fluid sensor.
  20. Cole, Barrett E.; Krishnankutty, Subash; Horning, Robert D., Tunable optical filter.
  21. Choi, Chang Auck; Lee, Myung Lae; Kim, Chang Kyu; Jun, Chi Hoon; Kim, Youn Tae, Tunable-wavelength optical filter and method of manufacturing the same.
  22. Choi,Chang Auck; Lee,Myung Lae; Kim,Chang Kyu; Jun,Chi Hoon; Kim,Youn Tae, Tunable-wavelength optical filter and method of manufacturing the same.
  23. Choi,Chang Auck; Lee,Myung Lae; Kim,Chang Kyu; Jun,Chi Hoon; Kim,Youn Tae, Tunable-wavelength optical filter and method of manufacturing the same.
  24. Wu,Mingching; Yang,Hsueh An; Lin,Hung Yi; Fang,Weileun, Two-axis device and manufacturing method therefor.
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