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Conductive material patterning methods 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G03C-005/00
  • B05D-003/06
출원번호 US-0648884 (2000-08-25)
발명자 / 주소
  • Geusic, Joseph E.
  • Reinberg, Alan R.
출원인 / 주소
  • Micron Technology, Inc.
대리인 / 주소
    Mueting, Raasch & Gebhardt, P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 10  인용 특허 : 13

초록

A patterning method includes providing a first material (e.g., copper) and transforming at a least a surface region of the first material to a second material (e.g., copper oxide). One or more portions of the second material (e.g., copper oxide) are converted to one or more converted portions of fir

대표청구항

A patterning method includes providing a first material (e.g., copper) and transforming at a least a surface region of the first material to a second material (e.g., copper oxide). One or more portions of the second material (e.g., copper oxide) are converted to one or more converted portions of fir

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Schoenbach Karl H. (Norfolk VA) Byszewski Wojciech W. (Boston MA) Peterkin Frank E. (Norfolk VA) Dharamsi Amin N. (Virginia Beach VA), Discharge device having cathode with micro hollow array.
  2. Schaible Paul M. (Poughkeepsie NY) Schwartz Geraldine C. (Poughkeepsie NY), Dry etching of copper patterns.
  3. Fry James L. ; Uhlenbrock Stefan ; Klein Rita J., Electroless plating of a metal layer on an activated substrate.
  4. Maya Leon (Oak Ridge TN), Maskless laser writing of microscopic metallic interconnects.
  5. Koide Tomoaki,JPX ; Kobayashi Akiko,JPX ; Tae Ko Sang,JPX ; Sekiguchi Atsushi,JPX ; Okada Osamu,JPX, Method of cleaning metallic films built up within thin film deposition apparatus.
  6. Chan Lap ; Zheng Jia Zhen,SGX, Method of manufacturing copper interconnect with top barrier layer.
  7. Matsuo Mie (Yokohama JPX) Okano Haruo (Tokyo JPX) Hayasaka Nobuo (Yokosuko JPX) Suguro Kyoichi (Yokohama JPX) Miyajima Hideshi (Tokyo JPX) Wada Jun-ichi (Yokohama JPX), Method of manufacturing semiconductor metal wiring layer by reduction of metal oxide.
  8. Brestel Mordechai (Rehovot ILX), Method of printing an image on a substrate particularly useful for producing printed circuit boards.
  9. Allen Lynn Renee ; Grant John Martin, Methods and equipment for anisotropic, patterned conversion of copper into selectively removable compounds and for remo.
  10. Joseph E. Geusic ; Alan R. Reinberg, Removal of copper oxides from integrated interconnects.
  11. Holl Mark M. B. (Providence RI) Kowalczyk Steven P. (Ossining NY) McFeely Fenton R. (Ossining NY) Seidler Paul F. (Ridgefield CT), Selective, low-temperature chemical vapor deposition of gold.
  12. Dubin Valery, Self-encapsulated copper metallization.
  13. Dubin Valery M. (Cupertino CA) Schacham-Diamand Yosi (Ithaca NY) Zhao Bin (Irvine CA) Vasudev Prahalad K. (Austin TX) Ting Chiu H. (Saratoga CA), Use of cobalt tungsten phosphide as a barrier material for copper metallization.

이 특허를 인용한 특허 (10)

  1. Roth,Weston; Searls,Damion T.; Jackson,James D., Apparatus and method for improving AC coupling on circuit boards.
  2. Geusic, Joseph E.; Reinberg, Alan R., Conductive material patterning methods.
  3. Geusic,Joseph E.; Reinberg,Alan R., Conductive material patterning methods.
  4. Riedl,Edmund; Schober,Wolfgang, Metal article intended for at least partially coating with a substance and a method for producing the same.
  5. Spurlin, Tighe A.; Antonelli, George Andrew; Doubina, Natalia; Duncan, James E.; Reid, Jonathan D.; Porter, David, Method and apparatus for remote plasma treatment for reducing metal oxides on a metal seed layer.
  6. Riedl, Edmund; Schober, Wolfgang, Method for producing a metal article intended for at least partially coating with a substance.
  7. Russell, Stephen W.; Hineman, Max, Methods for forming an enriched metal oxide surface.
  8. Russell,Stephen W.; Hineman,Max, Methods for forming an enriched metal oxide surface.
  9. Russell,Stephen W.; Hineman,Max, Methods for forming an enriched metal oxide surface for use in a semiconductor device.
  10. Pavliscak, Thomas J.; Peters, Edwin F.; Wedding, Carol Ann; Strbik, III, Oliver M., Microdischarge display with fluorescent conversion material.
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