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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0953480 (2001-09-14) |
우선권정보 | JP-0289102 (2000-09-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 19 |
There is provided a method and an apparatus for collecting a rare gas, which are capable of effectively collecting the rare gas contained in an exhaust gas exhausted from a rare gas using apparatus such as a plasma apparatus or the like, and moreover capable of securely supplying the rare gas having
1. A method for collecting rare gas which comprises collecting a rare gas contained in an exhaust gas exhausted from a rare gas using apparatus operated under decompression, the method comprising the step of: collecting said rare gas by separating said rare gas and impurities contained in said ex
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