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Integrated vertical spiral inductor on semiconductor material 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01F-027/29
출원번호 US-0233771 (2002-09-03)
발명자 / 주소
  • Yeo, Kiat Seng
  • Tan, Hai Yeng
  • Ma, Jiang Guo
  • Do, Manh Anh
  • Chew, Kok Wai Johnny
출원인 / 주소
  • Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd.
대리인 / 주소
    Saile, George O.Pike, Rosemary L. S.
인용정보 피인용 횟수 : 17  인용 특허 : 6

초록

A new structure is provided for the creation of an inductor on the surface of a silicon semiconductor substrate. The inductor is of spiral design and perpendicular to the plane of the underlying substrate. Conductor line width can be selected as narrow or wide, ferromagnetic material can be used to

대표청구항

A new structure is provided for the creation of an inductor on the surface of a silicon semiconductor substrate. The inductor is of spiral design and perpendicular to the plane of the underlying substrate. Conductor line width can be selected as narrow or wide, ferromagnetic material can be used to

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Takimoto Hiroyuki (Kanagawa-ken JPX), Inductance element.
  2. Burghartz Joachim Norbert ; Edelstein Daniel Charles ; Jahnes Christopher Vincent ; Uzoh Cyprian Emeka, Integrated circuit inductor.
  3. Sundaram Lalgudi M. G. (Scottsdale AZ) Tracht Neil (Mesa AZ), Method for fabricating a vertical trench inductor.
  4. Capocelli Piero,ITX ; Zambrano Raffaele,ITX ; Pio Federico,ITX ; Riva Carlo,ITX, Method for realizing magnetic circuits in an integrated circuit.
  5. Ling Peiching (San Jose CA), Structure and fabrication process of inductors on semiconductor chip.
  6. Marty Michel,FRX ; Jaouen Herve,FRX, Transformer for integrated circuits.

이 특허를 인용한 특허 (17)

  1. Abugharbieh, Khaldoon S.; Meredith, Gregory; Wyland, Christopher P.; Wu, Paul Y.; Liu, Henley; Stokes, Sanjiv; Wang, Yong, Capacitors within an interposer coupled to supply and ground planes of a substrate.
  2. Chen, Shuxian; Richter, Fangyun; Jensen, Bradley; Liu, Yowjuang (Bill), Density transition zones for integrated circuits.
  3. Chong, Nui; Pan, Hong-Tsz, Embedded inductor.
  4. Kireev, Vassili; Karp, James, Inductive structure formed using through silicon vias.
  5. Kim, Seong-il; Lee, Jongmin; Min, Byoung-Gue; Yoon, Hyung Sup; Kim, Hae Cheon; Nam, Eun Soo, Inductor.
  6. Sidhu,Lakhbeer S.; Rahim,Irfan, Integrated circuit inductors.
  7. Rahman, Arifur; Wu, Zhaoyin D.; Kim, Namhoon, Integrated circuit structure with inductor in silicon interposer.
  8. Ko, Ching-Chung; Lee, Tung-Hsing; Chan, Kuei-Ti; Cheng, Tao; Yang, Ming-Tzong, Integrated inductor.
  9. Jenkins, Michael O.; Karp, James; Kireev, Vassili; Wu, Ephrem C., Interposer having an inductor.
  10. Woodard, Stanley E.; Taylor, Bryant D., Method of mapping anomalies in homogenous material.
  11. Chen, Wei-Zen; Chen, Wen-Hui, Symmetrical stacked inductor.
  12. Kim, Daeik Daniel; Yun, Changhan Hobie; Velez, Mario Francisco; Zuo, Chengjie; Berdy, David Francis; Kim, Jonghae, Vertical spiral inductor.
  13. Woodard, Stanley E.; Taylor, Bryant Douglas, Wireless electrical device using open-circuit elements having no electrical connections.
  14. Woodard, Stanley E., Wireless open-circuit in-plane strain and displacement sensor requiring no electrical connections.
  15. Woodard, Stanley E.; Taylor, Bryant D., Wireless sensing system using open-circuit, electrically-conductive spiral-trace sensor.
  16. Woodard, Stanley E.; Wang, Chuantong; Taylor, Bryant D., Wireless temperature sensing method using no electrical connections.
  17. Woodard, Marie, Wireless temperature sensor having no electrical connections and sensing method for use therewith.
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