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Adaptive control algorithm for improving AMHS push lot accuracy 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G06F-019/00
출원번호 US-0037585 (2002-01-04)
발명자 / 주소
  • Chung, Ming-Hsun
  • Chen, Hung-I
  • Chin, Wen-Cheng
출원인 / 주소
  • Taiwan Semiconductor Manufacturing Company
대리인 / 주소
    Saile, George O.Ackerman, Stephen B.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 10

초록

A self-adjusting prediction system that provides for the transmission and storage of push lots of work. It uses an adaptive control algorithm in it's methodology to improve Automated Material Handling Systems (AMHS) transmissions. The method of prediction is greatly enchanted to reduce overall cycle

대표청구항

A self-adjusting prediction system that provides for the transmission and storage of push lots of work. It uses an adaptive control algorithm in it's methodology to improve Automated Material Handling Systems (AMHS) transmissions. The method of prediction is greatly enchanted to reduce overall cycle

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Kobayashi Yasumasa (Suwa JPX), Device for production control and method for production control using the same.
  2. Chacon Guillermo Rudolfo, Integrated wafer fab time standard (machine tact) database.
  3. Arbabi Mansur (Montgomery County MD) Baniak Jonathan E. (Montgomery County MD), Method and apparatus for scheduling resources.
  4. Khaw Fook C. (Singapore SGX), Neural network system and method for factory floor scheduling.
  5. Nomura Masahide (Hitachi JPX) Saito Tadayoshi (Hitachi JPX) Matsumoto Hiroshi (Ibaraka JPX) Shimoda Makoto (Katsuta JPX) Kondoh Masakazu (Hitachi JPX) Miyagaki Hisanori (Ohta JPX) Sugano Akira (Katsu, Process control method and system for performing control of a controlled system by use of a neural network.
  6. Conboy Michael R. ; Ryan Patrick J. ; Coss Elfido, Realtime decision making system for reduction of time delays in an automated material handling system.
  7. Hogge John C., Software system utilizing a filtered priority queue and method of operation.
  8. Kennedy Brian M., Strategy driven planning system and method of operation.
  9. Hang T. Black ; Arturo N. Morosoff ; Joseph Lebowitz, System and method for corrective action tracking in semiconductor processing.
  10. Togashi Yoichi,JPX, Work supplying method and apparatus to batch process apparatus for semiconductor wafer with preferential treatment to t.

이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Wong, Scott; Lin, Jeffrey; Bailey, III, Andrew D.; Chen, Jack; Mooring, Benjamin W.; Huang, Chung Ho, Dynamic alignment of wafers using compensation values obtained through a series of wafer movements.
  2. Schmidt,Kilian, Method and system for determining utilization of process tools in a manufacturing environment based on characteristics of an automated material handling system.
  3. Hsu,Yen Pu; Wei,Cheng Hsien; Wu,Mei Jen, Method and system for estimating manufacturing target bias.
  4. Gifford,Jeffrey P.; Harmuth,George M., Method, system, and storage medium for facilitating a transport scheme in an automated material handling system environment.
  5. Mizutani, Taku; Namioka, Ichiro; Iijima, Toshihiko; Todate, Shigenori, Modifying operational efficiency by repositioning process apparatus.
  6. Miyake, Izumi, Person image retrieval apparatus.
  7. Miyake, Izumi, Person image retrieval apparatus.
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