$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Infrared thermopile detector system for semiconductor process monitoring and control 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
출원번호 US-0140848 (2002-05-08)
발명자 / 주소
  • Arno, Jose
출원인 / 주소
  • Advanced Technology Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Chappuis, Margaret
인용정보 피인용 횟수 : 27  인용 특허 : 8

초록

A thermopile-based detector for monitoring and/or controlling semiconductor processes, and a method of monitoring and/or controlling semiconductor processes using thermopile-based sensing of conditions in and/or affecting such processes.

대표청구항

A thermopile-based detector for monitoring and/or controlling semiconductor processes, and a method of monitoring and/or controlling semiconductor processes using thermopile-based sensing of conditions in and/or affecting such processes. tive cell growth-promoting concentrations of α-ketoglutarate,

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Guilbeau Eric J. (Tempe AZ) Towe Bruce C. (Mesa AZ), Implantable microelectronic biochemical sensor incorporating thin film thermopile.
  2. Koskinen Yrjo (Helsinki FIX), Infrared detector with Fabry-Perot interferometer.
  3. Wong Jacob Y., NDIR gas sensor.
  4. Hong T. Sun ; Peter C. Hsi, Non-dispersive infrared gas sensor.
  5. Wong Jacob Y., Passive and active infrared analysis gas sensors and applicable multichannel detector assembles.
  6. Wong Jacob Y. (Goleta CA), Passive infrared analysis gas sensor.
  7. Stetter Joseph R. (Naperville IL) Otagawa Takaaki (Solon OH), Selective chemical detection by energy modulation of sensors.
  8. Haruyuki Endo JP; Takeshi Fuse JP; Tadashi Matsudate JP; Yasutaka Tanaka JP; Toshikazu Okada JP, Thermopile infrared sensor and process for producing the same.

이 특허를 인용한 특허 (27)

  1. Homan, Jeffrey J.; Arno, Jose I.; Sweeney, Joseph D., Apparatus and process for integrated gas blending.
  2. Dimeo, Jr., Frank; Chen, Philip S. H.; Neuner, Jeffrey W.; Welch, James; Stawasz, Michele; Baum, Thomas H.; King, Mackenzie E.; Chen, Ing-Shin; Roeder, Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
  3. Knauper, Christopher A.; Wiesner, Joel D.; Harr, James M.; Fournie, Glenn G., Controller for pumping apparatus.
  4. Hudson, Joseph A.; Sisk, Ricky A.; Gaines, Robert B.; Meier, Kevin C.; Harr, James M.; Wiesner, Joel D.; Knauper, Christopher A.; Hanlon, James G., Enteral feeding set and interlock device therefor.
  5. Arno,Jose I.; Dietz,James A., In-situ gas blending and dilution system for delivery of dilute gas at a predetermined concentration.
  6. Arno,Jose I.; Dietz,James A., In-situ gas blending and dilution system for delivery of dilute gas at a predetermined concentration.
  7. Arno,Jose, Infrared thermopile detector system for semiconductor process monitoring and control.
  8. Cotte, John M.; McCullough, Kenneth J.; Moreau, Wayne M.; Pope, Keith R.; Purtell, Robert J.; Simons, John P.; Taft, Charles J., Method of in situ monitoring of supercritical fluid process conditions.
  9. Raoux, Sebastien; Curry, Mark W.; Porshnev, Peter; Fox, Allen, Methods and apparatus for improving operation of an electronic device manufacturing system.
  10. Chiu, Ho-Man Rodney; Clark, Daniel O.; Crawford, Shaun W.; Jung, Jay J.; Loldj, Youssef A.; Vermeulen, Robbert M., Methods and apparatus for smart abatement using an improved fuel circuit.
  11. Arno, Jose I., Monitoring system comprising infrared thermopile detector.
  12. Arno,Jose I., Monitoring system comprising infrared thermopile detector.
  13. Arno,Jose I., Monitoring system comprising infrared thermopile detector.
  14. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  15. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  16. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  17. Arno,Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  18. Arno,Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  19. Bisch, Michael E.; Price, Jeffrey E.; Waldhoff, Gary J.; Forrest, Jeffrey E., Pump set and pump with electromagnetic radiation operated interlock.
  20. Knauper, Christopher A.; Wiesner, Joel D.; Harr, James M.; Fournie, Glenn G., Pump set having secure loading features.
  21. Hanlon, James G.; Wiesner, Joel D., Pump set with safety interlock.
  22. Boulanger, Jason; Meier, Kevin C.; Swisher, David Rork, Pump set with secure loading features and related methods therefor.
  23. Harr, James M.; Wiesner, Joel D.; Knauper, Christopher A.; Fournie, Glenn G.; Sisk, Ricky A.; Hudson, Joseph A.; Gaines, Robert B.; Meier, Kevin C.; Hanlon, James G., Pumping apparatus with secure loading features.
  24. Wiesner, Joel D.; Hudson, Joseph A.; Boulanger, Jason, Safety interlock.
  25. Wiesner, Joel D; Hudson, Joseph A; Boulanger, Jason, Safety interlock.
  26. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Clarke, Michael; Maenke, Dale; Wilkinson, Wiley James, System and method for non-intrusive thermal monitor.
  27. Arno, Jose I.; Despres, Joseph R.; Letaj, Shkelqim; Lurcott, Steven M.; Baum, Thomas H.; Zou, Peng, TPIR apparatus for monitoring tungsten hexafluoride processing to detect gas phase nucleation, and method and system utilizing same.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로