$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Temperature sensing system with matched temperature coefficients of expansion

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-031/058
출원번호 US-0175940 (2002-06-20)
발명자 / 주소
  • Parsons, James D.
출원인 / 주소
  • Heetronix
대리인 / 주소
    Koppel, Jacobs, Patrick & Heybl
인용정보 피인용 횟수 : 17  인용 특허 : 7

초록

A high temperature hybrid-circuit structure includes a temperature sensitive device which comprises SiC, AlN and/or AlxGa1-xN(x>0.69) connected by electrodes to an electrically conductive mounting layer that is physically bonded to an AlN die. The die, temperature sensitive device and mounting layer

대표청구항

A high temperature hybrid-circuit structure includes a temperature sensitive device which comprises SiC, AlN and/or AlxGa1-xN(x>0.69) connected by electrodes to an electrically conductive mounting layer that is physically bonded to an AlN die. The die, temperature sensitive device and mounting layer

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Parsons James D. ; Kwak B. Leo, Adhesion and/or encapsulation of silicon carbide-based semiconductor devices on ceramic substrates.
  2. Glenn Thomas P. ; Hollaway Roy D.,PHX, Chip-size semiconductor packages.
  3. Swinehart Philip R. (Columbus OH), Film resistors having trimmable electrodes.
  4. Yaguchi Osamu,JPX, Heated type sensor with auxiliary heater in bridge circuit for maintaining constant sensor temperature.
  5. Quick Nathaniel R., Laser synthesized ceramic electronic devices and circuits and method for making.
  6. Tsukada Masao (Atsugi JPX) Aoi Hiroshi (Atsugi JPX) Yokota Syoichiro (Atsugi JPX) Tomisawa Naoki (Atsugi JPX), Method and apparatus for detecting the intake air quantity of an engine.
  7. Kunz Manfred (Am Wiesenhang 4 D-8121 Aidenried/Ammersee DEX), Pressure sensor.

이 특허를 인용한 특허 (17)

  1. Baer,Thomas M.; Smith,Thomas L.; Reamey,Robert H., Apparatus and method for heating microfluidic volumes and moving fluids.
  2. Dimeo, Jr., Frank; Chen, Philip S. H.; Neuner, Jeffrey W.; Welch, James; Stawasz, Michele; Baum, Thomas H.; King, Mackenzie E.; Chen, Ing-Shin; Roeder, Jeffrey F., Apparatus and process for sensing fluoro species in semiconductor processing systems.
  3. Sherazi,Iman; Kovacic,Stephen J., Direct attach optical receiver module and method of testing.
  4. Sherazi,Imran; Kovacic,Stephen J., Direct attach optical receiver module and method of testing.
  5. Zimmermann, Bernd D.; Reynolds, David; Gerich, Richard L., Liquid level sensor.
  6. Okojie, Robert S, Modular apparatus and method for attaching multiple devices.
  7. Okojie, Robert S., Modular apparatus and method for attaching multiple devices.
  8. Arno, Jose I., Monitoring system comprising infrared thermopile detector.
  9. Arno,Jose I., Monitoring system comprising infrared thermopile detector.
  10. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  11. Arno, Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  12. Arno,Jose I., Photometrically modulated delivery of reagents.
  13. Mayer, Felix; Hornung, Mark, Sensor accommodated in a housing.
  14. Parsons,James D., Stable high temperature sensor system with tungsten on AlN.
  15. Peukert,Karsten, System and method for determining the temperature of a semiconductor wafer.
  16. Hardwicke,Canan Uslu; Devitt,John William; Jackson,Melvin Robert; Lau,Yuk Chiu, Systems and methods for determining conditions of articles and methods of making such systems.
  17. Arno, Jose I.; Despres, Joseph R.; Letaj, Shkelqim; Lurcott, Steven M.; Baum, Thomas H.; Zou, Peng, TPIR apparatus for monitoring tungsten hexafluoride processing to detect gas phase nucleation, and method and system utilizing same.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트