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Ferroelectric device with capping layer and method of making same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
  • H01L-021/8242
출원번호 US-0262034 (2002-09-30)
발명자 / 주소
  • Hayashi, Shinichiro
  • Otsuki, Tatsuo
  • Paz de Araujo, Carlos A.
출원인 / 주소
  • Symetrix Corporation, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
대리인 / 주소
    Patton Boggs
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 15

초록

A ferroelectric device includes a ferroelectric layer and an electrode. The ferroelectric material is made of a perovskite or a layered superlattice material. A superlattice generator metal oxide is deposited as a capping layer between said ferroelectric layer and said electrode to improve the resid

대표청구항

1. A method of making a ferroelectric device, said method comprising the steps of: depositing material for a ferroelectric layer on a substrate, said ferroelectric layer being selected from the group consisting of perovskites and self-ordering layered superlattice materials; depositing a non-fer

이 특허에 인용된 특허 (15)

  1. Tsu Robert (Plano TX) Kulwicki Bernard M. (North Attleboro MA), Barium strontium titanate (BST) thin films by holmium donor doping.
  2. Azuma Masamichi ; Paz De Araujo Carlos A. ; Cuchiaro Joseph D., Bottom electrode structure for dielectric capacitors.
  3. Summerfelt Scott R. ; Beratan Howard Roy, Electrode interface for high-dielectric-constant materials.
  4. Paz de Araujo Carlos A. (Colorado Springs CO) Cuchiaro Joseph D. (Colorado Springs CO) Scott Michael C. (Colorado Springs CO) McMillan Larry D. (Colorado Springs CO), Ferroelectric dielectric memory cell can switch at least giga cycles and has low fatigue - has high dielectric constant.
  5. Ooms William J. ; Marshall Daniel S. ; Hallmark Jerald A., Ferroelectric semiconductor device having a layered ferroelectric structure.
  6. Satoh Sakiko (Chiba-ken JPX) Matsunaga Hironori (Chiba-ken JPX) Nakanishi Kenji (Chiba-ken JPX) Masuda Yoshiyuki (Chiba-ken JPX) Koba Masayoshi (Nara-ken JPX), Ferroelectric thin film with intermediate buffer layer.
  7. Ramer O. Glenn ; Rosser Robin W., In situ reactive layers for protection of ferroelectric integrated circuits.
  8. Cuchiaro Joseph D. ; Solayappan Narayan ; Paz de Araujo Carlos A. ; McMillan Larry D., Low imprint ferroelectric material for long retention memory and method of making the same.
  9. Ooms William J. ; Marshall Daniel S. ; Hallmark Jerald A., Method for making a ferroelectric semiconductor device and a layered structure.
  10. Perino Stanley (Colorado Springs CO) Davenport Thomas E. (Colorado Springs CO), Method of manufacturing ferroelectric bismuth layered oxides.
  11. Perino Stanley (Colorado Springs CO) Davenport Thomas E. (Colorado Springs CO), Method of manufacturing ferroelectric bismuth layered oxides.
  12. Kang Eung Youl,KRX, Methods of forming ferroelectric capacitors having a diffusion barrier layer.
  13. Yamanobe Tomomi,JPX, Non-volatile semiconductor memory cell and method for production thereof.
  14. Watanabe Hitoshi (Tokyo CO JPX) Paz De Araujo Carlos A. (Colorado Springs CO) Yoshimori Hiroyuki (Kanagawa CO JPX) Scott Michael C. (Colorado Springs CO) Mihara Takashi (Saitama CO JPX) Cuchiaro Jose, Process for fabricating layered superlattice materials and making electronic devices including same.
  15. Haushalter Robert C., Reduced fatigue ferroelectric element.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Yang, Jingsi; Takeuchi, Esther S.; Leising, Randolph, Method of making silver vanadium oxyfluorides for nonaqueous lithium electrochemical cells.
  2. Fox, Glen; Chu, Fan; Eastep, Brian; Takamatsu, Tomohiro; Horii, Yoshimasa; Nakamura, Ko, Process for producing high quality PZT films for ferroelectric memory integrated circuits.
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