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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0003558 (2001-10-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 9 |
Improved anti-reflective coating compositions for use in integrated circuit manufacturing processes and methods of forming these compositions are provided. Broadly, the compositions are formed by heating a solution comprising a compound including specific compounds (e.g., alkoxy alkyl melamines, alk
1. An anti-reflective composition comprising: from about 60-98% by weight of a compound according to the formula: wherein each X is individually selected from the group consisting of NR2and phenyl groups, where each R is individually selected from the group consisting of hydrogen, alkoxyalkyl
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