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Method and apparatus for creating an open cell micro-environment for treating a substrate with an impingement spray 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B24C-003/12
출원번호 US-0132095 (2002-04-24)
발명자 / 주소
  • Jackson, David P.
대리인 / 주소
    Sonnenschein Nath & Rosenthal LLP
인용정보 피인용 횟수 : 14  인용 특허 : 12

초록

The present invention is a method and apparatus for providing a low-cost and less complex micro-environment for treating a substrate using an impingement cryogenic or steam spray jet. A substrate and fixture is contained within an open-architecture prophylactic or cleaning cell whereupon the substra

대표청구항

1. An apparatus to be used while treating a surface of a substrate positioned on a surface of a conveyor with a snow or steam spray cleaning device comprising: a shroud defining an internal cavity having a longitudinal axis for encasing at least a portion of the conveyor, a first inlet in the sh

이 특허에 인용된 특허 (12)

  1. McWhorter Thomas E. (Whitehall PA), Apparatus for cryogenic shot-blasting.
  2. Kimoto Tetsuo (Kitakyushu JPX) Orita Kiyoshi (Kitakyushu JPX), Apparatus for reducing the watt loss of a grain-oriented electromagnetic steel sheet.
  3. Krone-Schmidt Wilfried, Carbon dioxide jet spray pallet cleaning system.
  4. Baumgart Jurgen (Huntingdon Beach CA), Continuous deflashing apparatus for molded articles.
  5. Jackson David P., Dense fluid spray cleaning method and apparatus.
  6. Krone-Schmidt Wilfried (Fullerton CA) Di Milia Edward S. (Gardena CA) Slattery Michael J. (Gardena CA), Electrostatic discharge control during jet spray.
  7. Cherry Roger L. (2636 Maria Ct. West Linn OR 97068), High-purity cleaning system, method, and apparatus.
  8. Sneed John D. (Long Beach CA) Krone-Schmidt Wilfried (Fullerton CA) Slattery Michael J. (Gardena CA) Bowen Howard S. (Los Angeles CA), Method for cleaning surface by heating and a stream of snow.
  9. McDermott Wayne T. (Allentown PA) Ockovic Richard C. (Allentown PA) Wu Jin J. (Ossining NY) Cooper Douglas W. (Millwood NY) Schwarz Alexander (Allentown PA) Wolfe Henry L. (Pleasant Valley NY), Surface cleaning using a cryogenic aerosol.
  10. Peterson Ronald V. (Thousand Oaks CA) Krone-Schmidt Wilfried (Fullerton CA), System for precision cleaning by jet spray.
  11. Bowers Charles W., Wafer cassette cleaning using carbon dioxide jet spray.
  12. Borden Michael R. ; Kosic Thomas J. ; Bowers Charles W., Wafer cleaning using a laser and carbon dioxide snow.

이 특허를 인용한 특허 (14)

  1. Schmidt, Hans Herbert; Tracht, Knut, Apparatus for contactless cleaning of a conveying element and arrangement for transporting and/or storing of rod-shaped articles with an apparatus for contactless cleaning of a conveying element.
  2. Lalain, Theresa A.; Mantooth, Brent A.; Piepenburg, Corey L., Apparatus for testing vapor emissions from materials.
  3. Mase, Keiji; Fujinori, Shigeru, Blasting method and apparatus having abrasive recovery system, processing method of thin-film solar cell panel, and thin-film solar cell panel processed by the method.
  4. DCamp,Jon B.; Curtis,Harlan L.; Dunaway,Lori A.; Glenn,Max C., Chip packaging systems and methods.
  5. Kolb,William Blake; Huelsman,Gary L., Coating process and apparatus.
  6. Kolb,William Blake; Huelsman,Gary L., Coating process and apparatus.
  7. Blattner,Jakob; Federici,Rudy, Device and method for cleaning articles used in the production of semiconductor components.
  8. Gilbertson, Seth; Weber, Jeff; Wilson, Robert, Kinematic design for robotic arm.
  9. Blattner,Jakob; Federici,Rudy, Manipulating device for photomasks that provides possibilities for cleaning and inspection of photomasks.
  10. Jackson, David P.; Endres, Jeffrey D., Particle-plasma ablation process.
  11. Jackson, David P.; Endres, Jeffrey D., Particle-plasma ablation process for polymeric ophthalmic substrate surface.
  12. Gilbertson, Seth; Weber, Jeff; Wilson, Robert, Robotic device with coordinated sweeping tool and shovel tool.
  13. Miller, Craig A.; Jain, Nirmal K.; Kolb, William Blake, Vapor collection method and apparatus.
  14. Brown, Timothy Ronald; Hester, Grant Nicholas; Cruz, Dennis Quinto; Harrold, David Maxwell; Geittmann, Hans John, Workpiece cleaning.
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