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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0084550 (2002-02-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 81 인용 특허 : 17 |
A sub-0.05 μm channel length fully-depleted SOI MOSFET device having low source and drain resistance and minimal overlap capacitance and a method of fabricating the same are provided. In accordance with the method of the present invention, at least one dummy gate region is first formed atop an SOI l
1. A method of forming a sub-0.05 μm channel length fully-depleted silicon-on-insulator (SOI) metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET) device comprising the steps of: forming at least one dummy gate region atop a silicon-on-insulator (SOI) layer, said dummy gate region comprisin
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