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연합인증

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PACKAGING MATERIAL FOR MOLDING MATERIAL AND PARTS FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION APPARATUSES, METHOD FOR PACKAGING BY USING SAME AND PACKAGED MOLDING MATERIAL AND PARTS FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION APP

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/00
  • B65D-085/86
출원번호 US-0743712 (2001-01-16)
우선권정보 JP-0203842 (1998-07-17); JP-0005809 (1999-01-12)
국제출원번호 PCT/JP99/03790 (1999-07-14)
국제공개번호 WO00/03928 (2000-01-27)
발명자 / 주소
  • Higashino, Katsuhiko
  • Hasegawa, Masanori
  • Noguchi, Tsuyoshi
  • Kishine, Mitsuru
출원인 / 주소
  • Daiken Industries, Ltd.
대리인 / 주소
    Sughrue Mion, PLLC
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 5

초록

To provide a packaging material being capable of maintaining a highly clean state, wherein the number of fine particles having a particle size of not less than 0.2 μm and being present on its surface facing an article to be packaged is not more than 5,000/cm2,a steam permeation degree at 40° C. at 9

대표청구항

To provide a packaging material being capable of maintaining a highly clean state, wherein the number of fine particles having a particle size of not less than 0.2 μm and being present on its surface facing an article to be packaged is not more than 5,000/cm2,a steam permeation degree at 40° C. at 9

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Mott Charles L. (Midland MI), Antistatic sheet material and package.
  2. Phillips Roger W. ; Wendt Lauren R. ; Tan-Johnson Myra ; Todd David W., Barrier film having high colorless transparency and method.
  3. Deak Gedeon I. (Wilmington DE) Jackson Scott C. (Kennett Square PA), Barrier materials useful for packaging.
  4. Lawecki Mark (Apollo PA) Gelblum Eugene A. (Mt. Lebanon PA) Robinson Michelle (Zelienople PA) Wolstenholme Ralph E. (Westfield PA) Wolstenholme Eugene B. (Southampton PA), Isolation module for molding and packaging articles substantially free from contaminants.
  5. Friedt Jean-Marie, Methods and systems for delivering an ultra-pure gas to a point of use.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Ilic,Kosta; Bartz,Christopher T., Application programming interface for synchronizing multiple instrumentation devices.
  2. Li, Fuhe; Anderson, James Scott, Clean storage packaging article and method for making and using.
  3. Patel, Kunal H.; Ullrich, Adam C.; Vemishetty, Kalyanramu; Hanssen, Stephen A., Cross controller clock synchronization.
  4. Wu,Charles, System and method for synchronizing objects between two devices.
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