[특허]Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor

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Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01F-001/68 G01F-005/00
출원번호	US-0032273 (2001-12-21)
발명자 / 주소	Ambrosina, Jesse Suzuki, Isao
출원인 / 주소	MKS Instruments, Inc.
대리인 / 주소	McDermott, Will & Emery
인용정보	피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 12

초록 ▼

A thermal mass flow controller includes a sensor assembly and mass flow controller housing. A thermal ground limits the conductive thermal path between the mass flow controller housing and the sensor assembly and, due to the limited cross-section of the thermal ground, substantially eliminates exter

대표청구항 ▼

이 특허에 인용된 특허 (12)

Vu Kim N., Apparatus for handling process fluid.
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Hinkle Luke D. (Townsend MA) Provost James (Derry NH), Differential current thermal mass flow transducer.
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Mariano, Charles F., Fast responsive flowmeter transducer.
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Ritchart Thomas R., Fluid thermal mass flow sensor.
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Hartemink Gerrit A. (Harderwijk NLX), Improved flow meter.
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Blair Richard F. (Palos Verdes Peninsula CA), Mass flow meter with reduced attitude sensitivity.
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McMillan Robert D. ; McMillan Robert M., Mass flow sensor system for fast temperature sensing responses.
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Lucas Paul D., Mass flow transducer having extended flow rate measurement range.
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Azima Faramarz, Techniques for making and using a sensing assembly for a mass flow controller.
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Doyle Michael J. ; LeMay Dan B. ; Vu Kim N., Thermal mass flow controller having orthogonal thermal mass flow sensor.
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Vavra Randall J. (Orange CA) Nguyen Lam T. (Garden Grove CA) Tran Erik Q. (Garden Grove CA), Thermal mass flow sensor.
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Ewing James H. (Brockton MA) Ramberg Fred G. (Salem MA), Thermal mass flowmetering.
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이 특허를 인용한 특허 (3)

Hornung, Mark; Kubasch, Jens; Lechner, Moritz; Mayer, Felix, Device for measuring the flow of a gas or a liquid in a bypass.
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Meier, Lorenz; Hornung, Mark; Monnin, Eric; Mayer, Felix, Flow detector with a housing.
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Ishii, Mamoru, Thermal mass-flow meter and mass-flow control device using same.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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