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Remote exposure of workpieces using a plasma 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H05H-001/00
  • C23C-016/00
출원번호 US-0156394 (2002-05-28)
우선권정보 WO-PCT/US99/00430 (1999-01-08)
발명자 / 주소
  • Roth, J. Reece
출원인 / 주소
  • Universtiy of Tennessee Research Foundation
대리인 / 주소
    Mendelsohn, Steve
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 19

초록

An OAUGD plasma is generated using, for example, paraelectric or peristaltic electrohydrodynamic (EHD) techniques, in the plasma generator of a remote-exposure reactor, wherein one or more active species, especially oxidizing species in the plasma are convected away from the plasma-generation region

대표청구항

1. An apparatus comprising: (a) a plasma generator configured to generate an atmospheric plasma in a working gas within a plasma-generation region and convect one or more active species of the plasma away from the plasma-generation region; and (b) flexible tubing configured to convey the one or

이 특허에 인용된 특허 (19)

  1. Jenkins George M.,CAX, Apparatus for destroying hazardous compounds in a gas stream.
  2. Babayan Steve E. ; Selwyn Gary S. ; Hicks Robert F., Deposition of coatings using an atmospheric pressure plasma jet.
  3. Masuda Senichi (No. 605 ; 1-40-10 Nishigahara ; Kita-ku ; Tokyo JPX 114), Duct type charge eliminator.
  4. Spence Paul, Electrodes for plasma treater systems.
  5. Moslehi Mehrdad M. (Dallas TX), Low-temperature in-situ dry cleaning process for semiconductor wafers.
  6. Roth John Reece (Knoxville TN), Method and apparatus for covering bodies with a uniform glow discharge plasma and applications thereof.
  7. Roth John R. (Knoxville TN) Tsai Peter P. (Knoxville TN) Wadsworth Larry C. (Knoxville TN) Liu Chaoya (Knoxville TN) Spence Paul D. (Knoxville TN), Method and apparatus for glow discharge plasma treatment of polymer materials at atmospheric pressure.
  8. Sindzingre Thierry,FRX ; Rabia Stephane,FRX ; Potier Nicolas,FRX ; Verbockhaven Denis,FRX, Method for dry fluxing of metallic surfaces, before soldering or tinning, using an atmosphere which includes water vap.
  9. Shimizu Takashi (Kashiwa JPX), Method for forming electrode on semiconductor.
  10. Asmussen Jes (Okemos MI) Reinhard Donnie K. (East Lansing MI), Method for treating a surface with a microwave or UHF plasma and improved apparatus.
  11. Siniaguine Oleg ; Tokmouline Iskander, Method for treating articles with a plasma jet.
  12. Maher, Jr., Joseph A.; Zafiropoulo, Arthur W., Multi-planar electrode plasma etching.
  13. Roth John R. (Knoxville TN) Tsai Peter P. (Knoxville TN) Liu Chaoyu (Knoxville TN) Laroussi Mounir (Knoxville TN) Spence Paul D. (Knoxville TN), One atmosphere, uniform glow discharge plasma.
  14. Moslehi Mehrdad M. (Dallas TX), Plasma density controller for semiconductor device processing equipment.
  15. Siniaguine Oleg ; Bagriy Igor, Plasma processing methods and apparatus.
  16. Roth John R. (Knoxville TN) Tsai Peter P. (Knoxville TN) Liu Chaoyu (Knoxville TN), Steady-state, glow discharge plasma.
  17. Li Kin ; Tanielian Minas, Surface modification using an atmospheric pressure glow discharge plasma source.
  18. Spence Paul ; Lynch John, Treater systems and methods for generating moderate-to-high-pressure plasma discharges for treating materials and related treated materials.
  19. Bell Timothy Allan ; Best Wronald Scott ; Chouinard Michael Patrick ; Herman Paul Francis ; Hohman ; Jr. James Lewis ; Levase Laurence J. ; Lin Tyau-Jeen ; Yeh An-Gong ; Harding Thomas William, Treatment of deagglomerated particles with plasma-activated species.

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Wiebe, David J.; Montgomery, Matthew D., Control of blade tip-to-shroud leakage in a turbine engine by directed plasma flow.
  2. Kummerfeld, Ryszard; Hansmann, Hans-Ullrich; Kretschmann, Hanno, Device for disinfecting wound treatment.
  3. Kindel, Eckhard; Lembke, Norbert; Stieber, Manfred; Titze, Ruediger; Weltmann, Klaus-Dieter; Hellwig, Lutz, Device for generating a non-thermal atmospheric pressure plasma.
  4. Ashpis, David E., Dust removal from solar cells.
  5. Zhao, Haibo; Blanchard, Patrick James, Heated air plasma treatment.
  6. Patelli, Alessandro; Verga Falzacappa, Emanuele; Scopece, Paolo; Pierobon, Roberto; Vezzu′, Simone, Method for generating an atmospheric plasma jet and atmospheric plasma minitorch device.
  7. Jost, Stephan; Belinger, Andreas, Method for manufacturing large-area vacuum plasma treated substrates and vacuum plasma treatment apparatus.
  8. Katare, Rajesh K.; David, Moses M., Remote plasma synthesis of metal oxide nanoparticles.
  9. Swank, John D., System and method for analyzing power flow in semiconductor plasma generation systems.
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