[특허]Remote exposure of workpieces using a plasma

Universtiy of Tennessee Research Foundation

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Remote exposure of workpieces using a plasma

특허상세정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H05H-001/00 C23C-016/00
미국특허분류(USC)	156/345.35; 156/345.33; 118/715; 118/723.ER; 118/723.IR; 118/723.ME
출원번호	US-0156394 (2002-05-28)
우선권정보	WO-PCT/US99/00430 (1999-01-08)
발명자 / 주소	Roth, J. Reece
출원인 / 주소	Universtiy of Tennessee Research Foundation
대리인 / 주소	Mendelsohn, Steve
인용정보	피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 19

초록
▼

An OAUGD plasma is generated using, for example, paraelectric or peristaltic electrohydrodynamic (EHD) techniques, in the plasma generator of a remote-exposure reactor, wherein one or more active species, especially oxidizing species in the plasma are convected away from the plasma-generation region and directed towards a workpiece that is located outside of the plasma-generation region (e.g., within an optional remote-exposure chamber configured to the plasma generator). In this way, the workpiece can be subjected to the one or more active species without directly being subjected to either the plasma or to the electric fields used to generate the plasma. The plasma generator may have a set of flat panels arranged within an air baffle to convect the active species in a serpentine manner through the plasma generator. The remote-exposure reactor can also be configured as a portable backpack unit with tubing that is used to direct the active species onto the workpiece, rather than placing the workpiece within a remote-exposure chamber of the reactor.

대표
청구항
▼

1. An apparatus comprising: (a) a plasma generator configured to generate an atmospheric plasma in a working gas within a plasma-generation region and convect one or more active species of the plasma away from the plasma-generation region; and (b) flexible tubing configured to convey the one or more active species away from the plasma-generation region; and (c) a hand-held wand configured to receive the one or more active species from the tubing and to enable an operator to move the wand to direct the one or more active species onto a workpiece located outside of the apparatus. 2. The apparatus of claim 1, wherein the tubing is configured with one or more valves to recirculate at least a portion of the one or more active species back to the plasma-generation region to increase concentration of at least one of the active species. 3. The apparatus of claim 1, wherein the plasma generator is configured as part of a portable unit. 4. The apparatus of claim 3, wherein the portable unit is configured to be worn by the operator as a backpack. 5. The apparatus of claim 1, further comprising a blower configured to provide the working gas to the plasma-generation region and convect the one or more active species away from the plasma-generation region. 6. The apparatus of claim 1, wherein the plasma generator is configured to generate a self-propelled plasma. 7. The apparatus of claim 1, wherein the plasma generator comprises one or more plasma panels adapted to configured to a power supply to generate the plasma. 8. The apparatus of claim 7, wherein the plasma generator comprises a plurality of plasma panels configured in an air baffle such that the one or more active species are convected in a serpentine manner through the plasma-generation region. 9. The apparatus of claim 1, wherein the working gas is air at one atmosphere. 10. The apparatus of claim 9, wherein the plasma is an OAUGDP (one-atmosphere uniform glow discharge plasma). 11. The apparatus of claim 1, wherein the active species are oxidizing species carried within a low heat flux of the plasma. 12. The apparatus of claim 11, wherein the active species are atomic oxygen, ozone or nitrogen oxides.

인용문헌 (19)

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