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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0236636 (2002-09-06) |
우선권정보 | CH-199702897 (1997-12-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 8 |
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1. A method for producing flat panels for TFT or plasma display applications comprising: forming a sputter source within a sputter coating chamber by means of at least two electrically mutually isolated stationary bar-shaped target arrangements mounted one alongside the other and separated by a
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