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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0077495 (2002-02-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 26 인용 특허 : 20 |
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1. A method for forming an actuator array device comprising: providing a first sheet having a front surface and a back surface; providing a second sheet having a front surface and a back surface; applying a thin conductive film on said first sheet and second sheet, and applying a dielectric fil
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