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Kafe 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0983854 (2001-10-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 434 |
A method of removing an amorphous oxide from a surface of a monocrystalline substrate is provided. The method includes depositing a passivation material overlying the amorphous oxide. The monocrystalline substrate is then heated so that the amorphous oxide layer decomposes into at least one volatile
A method of removing an amorphous oxide from a surface of a monocrystalline substrate is provided. The method includes depositing a passivation material overlying the amorphous oxide. The monocrystalline substrate is then heated so that the amorphous oxide layer decomposes into at least one volatile species that is liberated from the surface.
A method of removing an amorphous oxide from a surface of a monocrystalline substrate is provided. The method includes depositing a passivation material overlying the amorphous oxide. The monocrystalline substrate is then heated so that the amorphous oxide layer decomposes into at least one volatile
A method of removing an amorphous oxide from a surface of a monocrystalline substrate is provided. The method includes depositing a passivation material overlying the amorphous oxide. The monocrystalline substrate is then heated so that the amorphous oxide layer decomposes into at least one volatile species that is liberated from the surface. -Bentchkowsky et al., 365/185; US-5029130, 19910700, Yeh, 365/185; US-5045488, 19910900, Yeh, 437/043; US-5067108, 19911100, Jenq, 365/185; US-5242848, 19930900, Yeh, 437/043; US-5278087, 19940100, Jenq, 437/043; US-5729496, 19980300, Jung, 365/185.26; US-5753951, 19980500, Geissler, 257/316; US-6051465, 20000400, Kato et al., 438/258; US-6157058, 20001200, Ogura, 257/315
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