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Cylinder cabinet and method of purging remaining gas in the pipe thereof

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F17C-013/00
출원번호 US-0180497 (2002-06-27)
우선권정보 JP-0194662 (2001-06-27)
발명자 / 주소
  • Sakamoto, Yutaka
  • Kano, Tsuneo
  • Ogawa, Takashi
  • Matsumura, Hiroshi
  • Sango, Toshiaki
  • Itoh, Kiyoto
  • Otake, Norio
출원인 / 주소
  • NEC Electronics Corporation, Toyoku Kagaku Co., Ltd.
대리인 / 주소
    Young & Thompson
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 8

초록

A cylinder containing gas has a valve and is connected to a delivery side through a filling pipe, a primary pipe, a first air-operated valve, a pressure reducing valve, a secondary pipe, and a second air-operated valve. Inert gas flows into the primary pipe through an air-operated valve. The primary

대표청구항

1. A method of purging remaining gas in a pipe in a cylinder cabinet comprising a cylinder cabinet containing gas and having a valve, a filling pipe, a primary pipe, a first air-operated valve, a pressure reducing valve, a secondary pipe, and a second air-operated valve through which the cylinder is

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Garrett Charles W. (Somerville AL) Robinson ; Jr. William H. (Huntland TN) Sierk Dennis A. (Huntsville AL), Apparatus and method for controlling functions of automated gas cabinets.
  2. Moore Gary M. (San Jose CA) Pairish Richard S. (San Ramon CA), Automated process gas supply system for evacuating a process line.
  3. Craig M. Noah ; John N. Gregg ; Robert M. Jackson ; Craig Esser, Bulk chemical delivery system.
  4. Siegele Stephen H. (Campbell CA) Noah Craig M. (Mountain View CA) Gregg John N. (Marble Falls TX), Chemical refill system for high purity chemicals.
  5. Goossens Dirk (Sint Niklaas BEX) Boeglin Herman J. (South Meriden CT), Computer-controlled chemical dispensing with alternative operating modes.
  6. George Mark (23 N. 12th St. Allentown PA 18102), Delivery of reactive gas from gas pad to process tool.
  7. Satoshi Hasaka JP; Kenji Shigeta JP; Takashi Kuroiwa JP; Tomoaki Hoshi JP; Hideki Seki JP; Toshiyuki Aida JP, Feed device for large amount of semiconductor process gas.
  8. Ferri ; Jr. Edward T. (Gilroy CA) Geatz J. Tobin (Durham NC), Process and apparatus for electronic control of the transfer and delivery of high purity chemicals.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Hsu, Hul-Chun, Method for removing vapor within heat pipe.
  2. Handa, Kiyoshi, System for enhancing the efficiency of high pressure storage tanks for compressed natural gas or hydrogen.
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