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Vacuum exhaust apparatuses and vacuum exhaust methods 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F01C-001/30
출원번호 US-0013444 (2001-12-13)
우선권정보 JP-0388868 (2000-12-21)
발명자 / 주소
  • Izawa, Hiroshi
출원인 / 주소
  • Canon Kabushiki Kaisha
대리인 / 주소
    Fitzpatrick, Cella, Harper & Scinto
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 3

초록

A vacuum exhaust apparatus includes an oil-sealed rotary pump with a gas inlet for taking a gas into the pump. The gas inlet has a gas inlet flange to join with a flange of a gas inlet pipe for guiding the gas to the pump. An oil supply section connects with the gas inlet pipe and supplies an oil in

대표청구항

A vacuum exhaust apparatus includes an oil-sealed rotary pump with a gas inlet for taking a gas into the pump. The gas inlet has a gas inlet flange to join with a flange of a gas inlet pipe for guiding the gas to the pump. An oil supply section connects with the gas inlet pipe and supplies an oil in

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Kubo Kazuo (Hyogo JPX) Akashi Koji (Hyogo JPX), Air compressor.
  2. Johannes Steinwart (Obersulm-Willsbach DT), Rotary piston internal combustion engine of the trochoidal type.
  3. Kobayashi Masahiko (Fuchu JPX) Numajiri Kenji (Fuchu JPX), Thin film deposition method and apparatus.
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