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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0073259 (2002-02-13) |
우선권정보 | EP-0301257 (2001-02-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 7 |
A lithographic projection apparatus is provided with a sensor for detecting luminescence radiation produced in the projection lens system by the passage of the projection beam. The luminescence radiation is indicative of the dose delivered to the substrate, and can be detected close to the substrate
A lithographic projection apparatus is provided with a sensor for detecting luminescence radiation produced in the projection lens system by the passage of the projection beam. The luminescence radiation is indicative of the dose delivered to the substrate, and can be detected close to the substrate
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