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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0186941 (2002-06-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 14 |
A fluid delivery device for delivering fluid to the backside of a substrate while minimizing waste. The device includes an inner cylindrical tube having a top opening and a bottom opening. An upper cap overlying a top portion of the inner cylindrical tube is included. The upper cap is moveably dispo
1. A fluid delivery system for cleaning a backside of a semiconductor substrate, the system comprising: a shaft configured to rotate about an axis of the shaft; an arm having a first end and a second end, the first end affixed to the shaft, the first end in communication with a fluid source; and
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