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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0303702 (2002-11-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 159 인용 특허 : 6 |
A method for forming a group of structures in a semiconductor device includes forming a conductive layer on a substrate, where the conductive layer includes a conductive material, and forming an oxide layer over the conductive layer. The method further includes etching at least one opening in the ox
1. A method for forming fins in a FinFET, comprising: forming an oxide layer on a silicon on insulator (SOI) wafer, the SOI wafer including a silicon layer, an insulator layer, and a substrate; creating at least one opening in the oxide layer; growing silicon in the at least one opening; etchi
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