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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) | G01F-023/00 |
미국특허분류(USC) | 073/299 |
출원번호 | US-0844838 (2001-04-27) |
우선권정보 | JP-0127972 (2000-04-27) |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 | |
대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 5 |
Apparatus and method for correctly detecting the level of a processing liquid such as HPM in a processing tank in the event that any drift occurs in a detector is disclosed. A liquid level detecting apparatus (70) comprises a pressure sensor (73) operable to generate an output signal S0 which is maintained at a constant signal level until the level of HPM reaches a predetermined position M in the tank and rises in the signal level as the liquid level rises in the tank after reaching the predetermined position M, a determination circuit (93) for determini...
1. An apparatus for detecting the level of a processing liquid in a processing tank, comprising: a hollow sensor tube having an open distal bottom end positioned at a first position in the tank and adapted to be immersed in the processing liquid; gas supply means for supplying gas, having a pressure substantially greater than a pressure prevailing over an upper surface of the processing liquid, through the sensor tube to sufficiently fill the interior thereof entirely to the open distal bottom end; a detecting sensor for providing an output signal r...