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Method and apparatus for detecting liquid level

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01F-023/00
출원번호 US-0844838 (2001-04-27)
우선권정보 JP-0127972 (2000-04-27)
발명자 / 주소
  • Mokuo, Shori
출원인 / 주소
  • Tokyo Electron Limited
대리인 / 주소
    Morrison & Foerster LLP
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 5

초록

Apparatus and method for correctly detecting the level of a processing liquid such as HPM in a processing tank in the event that any drift occurs in a detector is disclosed. A liquid level detecting apparatus (70) comprises a pressure sensor (73) operable to generate an output signal S0 which is mai

대표청구항

1. An apparatus for detecting the level of a processing liquid in a processing tank, comprising: a hollow sensor tube having an open distal bottom end positioned at a first position in the tank and adapted to be immersed in the processing liquid; gas supply means for supplying gas, having a pres

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Hfner Hans W. (Aichach/Walchshofen DEX) Altmayer Gerhard (Rehlingen-Siersburg DEX), Apparatus for determining the pressure distribution along a limited distance and method for manufacturing it.
  2. Slavik William H. (Palos Hills IL), Level sensing system.
  3. Kawai Makoto (Aichi JPX) Hayashi Chikahisa (Aichi JPX) Hirose Yoshikazu (Aichi JPX) Terayama Tatsuya (Aichi JPX), Liquid level gauge.
  4. Hayashi Chikahisa (Aichi JPX) Kawai Makoto (Aichi JPX) Hirose Yoshikazu (Aichi JPX), Liquid level indication device.
  5. Vetter Egon (Hofheim DEX) Pfeifer Thomas (Eppstein DEX) Burghoff Heinz-Georg (Reichenbach DEX) Daub Werner (Stuttgart DEX), Method and device for indicating the level of liquid in an automobile fuel tank.

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Gourlay,Robert D.; Williams,Steven C.; Pagan,Daniel L., Liquid measurement system having a plurality of differential pressure probes.
  2. Endo,Noboru; Makino,Yasuaki, Sensor device and output characteristic switching method of sensor device.
  3. Heavner, III, Louis W.; Sharpe, Jr., Joseph H.; Eryurek, Evren; Kavaklioglu, Kadir, System and method for detecting an abnormal situation associated with a heater.
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