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Apparatus and method for inhibiting decomposition of germane 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-053/04
출원번호 US-0282377 (2002-10-29)
발명자 / 주소
  • Arno, Jose
  • Sturm, Edward
  • Wang, Luping
  • Dietz, James
출원인 / 주소
  • Advanced Technology Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Chappuis, MargaretHultquist, Steven J.Ryann, William F.
인용정보 피인용 횟수 : 17  인용 특허 : 10

초록

A germane storage and dispensing system, in which germane gas is sorptively retained on an activated carbon sorbent medium in a vessel containing adsorbed and free germane gas. The activated carbon sorbent medium is deflagration-resistant in relation to the germane gas adsorbed thereon, i.e., under

대표청구항

A germane storage and dispensing system, in which germane gas is sorptively retained on an activated carbon sorbent medium in a vessel containing adsorbed and free germane gas. The activated carbon sorbent medium is deflagration-resistant in relation to the germane gas adsorbed thereon, i.e., under

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Luping Wang ; Terry A. Tabler ; James A. Dietz, Fluid distribution system and process, and semiconductor fabrication facility utilizing same.
  2. Tom Glenn M. ; McManus James V. ; Olander W. Karl, Fluid storage and delivery system utilizing carbon sorbent medium.
  3. Wang Luping ; Tom Glenn M., Fluid storage and dispensing system.
  4. Glenn M. Tom ; James V. McManus, Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system.
  5. Olander W. Karl ; McManus James V., Manufacturing process for gas source and dispensing systems.
  6. Wang Luping ; McManus James V., Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment.
  7. McManus James V. (Danbury CT), Reclaiming system for gas recovery from decommissioned gas storage and dispensing vessels and recycle of recovered gas.
  8. Hultquist Steven J. ; Tom Glenn M. ; Kirlin Peter S. ; McManus James V., Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same.
  9. Tom Glenn M. (New Milford CT) McManus James V. (Danbury CT), Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds.
  10. Dietz James ; McManus James V., Throughflow gas storage and dispensing system.

이 특허를 인용한 특허 (17)

  1. Carruthers, J. Donald; Boggs, Karl; Wang, Luping; Wilson, Shaun M.; Arno, Jose I.; Marganski, Paul J.; Bilodeau, Steven M.; Zou, Peng; Bobita, Brian; Sweeney, Joseph D.; Edwards, Douglas, Component for solar adsorption refrigeration system and method of making such component.
  2. Carruthers, J. Donald; Boggs, Karl; Wang, Luping; Wilson, Shaun; Arno, Jose I.; Marganski, Paul J.; Bilodeau, Steven M.; Zou, Peng; Bobita, Brian; Sweeney, Joseph D.; Edwards, Douglas, Component for solar adsorption refrigeration system and method of making such component.
  3. Zheng, Jun-Fei, Double self-aligned phase change memory device structure.
  4. Dietz, James; Bishop, Steven E.; McManus, James V.; Lurcott, Steven M.; Wodjenski, Michael J.; Kaim, Robert; DiMeo, Jr., Frank, Fluid storage and dispensing system including dynamic fluid monitoring of fluid storage and dispensing vessel.
  5. Dietz, James; Bishop, Steven E.; McManus, James V.; Lurcott, Steven M.; Wodjenski, Michael J.; Kaim, Robert; Dimeo, Jr., Frank, Fluid storage and dispensing system including dynamic fluid monitoring of fluid storage and dispensing vessel.
  6. Dietz, James; Bishop, Steven E.; McManus, James V.; Lurcott, Steven M.; Wodjenski, Michael J.; Kaim, Robert; Dimeo, Jr., Frank, Fluid storage and dispensing system including dynamic fluid monitoring of fluid storage and dispensing vessel.
  7. McManus, James V.; Dietz, James; Lurcott, Steven M., Fluid storage and dispensing system including dynamic fluid monitoring of fluid storage and dispensing vessel.
  8. Olander, W. Karl; McManus, James V.; Hultquist, Steven J.; Arno, Jose I.; Van Buskirk, Peter C., Fluid storage and dispensing systems, and fluid supply processes comprising same.
  9. Miller, Gary D., Germane purification.
  10. Zheng, Jun-Fei, Germanium antimony telluride materials and devices incorporating same.
  11. Zheng, Jun-Fei, Germanium antimony telluride materials and devices incorporating same.
  12. Zheng, Jun-Fei; Roeder, Jeffrey F.; Li, Weimin; Chen, Philip S. H., High concentration nitrogen-containing germanium telluride based memory devices and processes of making.
  13. Zheng, Jun-Fei, Hollow GST structure with dielectric fill.
  14. Carruthers, J. Donald; Dimeo, Jr., Frank; Bobita, Brian, Nanoporous articles and methods of making same.
  15. Carruthers, J. Donald; Dimeo, Jr., Frank; Bobita, Brian, Nanoporous articles and methods of making same.
  16. Wilson, Shaun M.; Sturm, Edward A., PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same.
  17. Withers, Jr.,Howard Paul; Henderson,Philip Bruce, Process for purification of germane.
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