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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0952444 (2001-09-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 39 |
A chuck assembly for use in semiconductor processing equipment includes elements that permit reticle expansion and assembly misalignment without additional reticle deformation. Reticle expansion is allowed by flexible support elements that are positioned to move in the direction of expansion, but th
A chuck assembly for use in semiconductor processing equipment includes elements that permit reticle expansion and assembly misalignment without additional reticle deformation. Reticle expansion is allowed by flexible support elements that are positioned to move in the direction of expansion, but th
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