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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0141405 (2002-05-08) |
우선권정보 | JP-0137878 (2001-05-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 27 인용 특허 : 1 |
A wafer ring supplying and returning apparatus including a magazine that accommodates wafer rings, a jig holder that holds the wafer rings, a drier that causes contraction of the wafer sheets on used wafer rings, and a wafer chucking member that chucks and conveys the wafer rings, and the apparatus
1. A wafer ring supplying and returning apparatus comprising: a magazine which is carried on an elevator and raised and lowered, said magazine accommodating wafer rings at a fixed pitch,a jig holder which holds said wafer rings and being movable between a wafer ring exchange position in front of sai
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