$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Identifying wafer fabrication system impacts resulting from specified actions 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G06F-019/00
출원번호 US-0353687 (1999-07-14)
발명자 / 주소
  • Dean, Timothy C.
출원인 / 주소
  • NEC Electronics, Inc.
대리인 / 주소
    Skjerven Morrill LLP
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 23

초록

A method and system for use in wafer fabrication systems. The method and system identify wafer fabrication system impacts resulting from specified actions by specifying at least one action related to at least one integral part associated with the wafer fabrication system, and generating a presentati

대표청구항

A method and system for use in wafer fabrication systems. The method and system identify wafer fabrication system impacts resulting from specified actions by specifying at least one action related to at least one integral part associated with the wafer fabrication system, and generating a presentati

이 특허에 인용된 특허 (23)

  1. Agrawal Mukul (Plymouth MN) Orrock James E. (Eden Prairie MN) Patiath Pradip K. (Brooklyn Park MN) Rachor Lloyd A. (Brooklyn Park MN), Advanced equipment control system.
  2. Timothy C. Dean, Capturing an evolving wafer fabrication method and system.
  3. Gibson Kenneth U. ; Turley William N. ; Schapiro Jonathan, Computer executable workflow control system.
  4. Keeley Thomas M., Computer-aided design of inter-operable products.
  5. Beauchesne Robert C., Database manufacturing process management system.
  6. Jannette Daniel A. ; Allen Edwin M. ; Burnard Mark F. ; Crenshaw Jamie L. ; DeSaele Curtis R. ; Hill Michael E. ; Morrison Gerald O. ; Raheja Sonia ; Szuch William G. ; Vickers Paul W. ; Zaun Mark S., Design and engineering project management system.
  7. Oota Yoshimi,JPX ; Yoshinaga Toshiaki,JPX ; Ohcoshi Shigeru,JPX, Design and production supporting system for component arrangement and pipe routing.
  8. Furusawa Naoki,JPX, Design part reusing method in configuration tool.
  9. David Zager ; Robert Kostes, Dynamic modeling of complex networks and prediction of impacts of faults therein.
  10. Robert A. Beatty, Graphical user interface shop floor control system.
  11. Kurtzberg Jerome M. (Yorktown Heights NY) Levanoni Menachem (Yorktown Heights NY), Mechanism and architecture for manufacturing control and optimization.
  12. Berg William C. ; McCallum Darcy J. ; Newman Reynaldo W., Method and system for managing workflow.
  13. Fargher Hugh E. (Allen TX) Smith Richard A. (Garland TX), Method and system for production planning.
  14. Krivokapic Zoran (Santa Clara CA) Heavlin William D. (San Francisco CA) Kyser David F. (San Jose CA), Method for setting and adjusting process parameters to maintain acceptable critical dimensions across each die of mass-p.
  15. Krivokapic Zoran (Santa Clara CA) Heavlin William D. (San Francisco CA) Kyser David F. (San Jose CA), Method for setting and adjusting process parameters to maintain acceptable critical dimensions across each die of mass-p.
  16. Benton Allen D. ; Hochstedler Leon J. ; Hughes Kevin A. ; Knapke Paul H. ; Monteiro Michael J. ; Protopapas Christopher J. ; Van Eijk Fred ; Donnelly Frank J. ; Hale ; Jr. A. Donald ; Sarbaugh Keith , Monitoring and control system using graphical representations with prelinked parameters for devices within a network.
  17. Curtis David C. ; Curtis Kathleen P. ; Denunzio David D. ; Reed William P. ; Wolak Robert A., Network configuration management system for digital communication networks.
  18. Lewis Robert W. ; Tanner Matthew A. ; Walker Timothy K., Object-oriented computer program, system, and method for developing control schemes for facilities.
  19. Krivoshein Ken D. ; Christensen Dan D., Process control system including automatic sensing and automatic configuration of devices.
  20. Tanaka Masayuki,JPX ; Nakamura Toru,JPX ; Kominami Hirokazu,JPX ; Kuromiya Yoshihisa,JPX ; Yamada Itsuhiro,JPX, Production plan generating method and apparatus.
  21. Shah Sunil C. ; Pandey Pradeep ; Gudmundsson Thorkell ; Erickson Mark, Real-time planner for design.
  22. Tulskie ; Jr. William A. ; Bagchi Sugato, Strategic capability networks.
  23. Gryphon Robert L. ; Clements Michael R. ; Makagon Kira R., Workflow modeling language.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Nakagawa, Yoshihiko, Substrate processing apparatus and display method of substrate processing apparatus.
  2. Masuda, Toshikatsu; Shinki, Toshinori; Samata, Shuichi; Mikata, Yuuichi, System, method and program for designing a utility facility and method for manufacturing a product by the utility facility.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로