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Modular fluid delivery apparatus

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16K-011/10
출원번호 US-0800595 (2001-03-06)
발명자 / 주소
  • Nguyen, Nhan
출원인 / 주소
  • Asml Us, Inc.
대리인 / 주소
    Dorsey & Whitney LLP
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 13

초록

A fluid delivery apparatus for transporting a fluid to one or more fluid handling components. The fluid delivery apparatus includes one or more modular subassemblies having an upper module, a lower module, and a base block. The upper module includes a passageway for coupling with a fluid handling co

대표청구항

A fluid delivery apparatus for transporting a fluid to one or more fluid handling components. The fluid delivery apparatus includes one or more modular subassemblies having an upper module, a lower module, and a base block. The upper module includes a passageway for coupling with a fluid handling co

이 특허에 인용된 특허 (13)

  1. Barefoot Richard (Milford PA), Adapter for interconnecting empty/load valve with storage canister.
  2. Hunkapiller Michael W. (Pasadena CA), Diaphragm valve.
  3. Ohmi Tadahiro,JPX ; Hirao Keiji,JPX ; Minami Yukio,JPX ; Yamaji Michio,JPX ; Hirose Takashi,JPX ; Ikeda Nobukazu,JPX, Fluid control device.
  4. Redemann Eric J. ; Vu Kim N., Gas panel.
  5. Itafuji Hiroshi,JPX, Gas supply unit.
  6. Raymond Robert E. (Zanesville OH), Hydraulic motor control apparatus.
  7. Buch Dana, Modular mounting apparatus for fluid control components.
  8. Bell Joel David ; Chou Alan Fu, Mounting system for pressure transmitters.
  9. Itafuji Hiroshi,JPX ; Inagaki Toshiyasu,JPX, Process gas supply unit.
  10. Ohmi Tadahiro,JPX ; Kawano Yuji,JPX ; Hirao Keiji,JPX ; Tanaka Hisashi,JPX ; Masuda Naoya,JPX ; Minami Yukio,JPX ; Hatano Masayuki,JPX ; Tanaka Shigeaki,JPX ; Yamaji Michio,JPX ; Morokoshi Hiroshi,JP, Shutoff-opening device.
  11. Stark Anton W. (2001 E. Galbreth Rd. Pasadena CA 91104), Valve for sequential chemical operations.
  12. Cameron Russell J. (Rochester MI) Krape Richard P. (Lake Orion MI) Winsand Robert N. (Birmingham MI), Valve system and arrangement for on-line valve replacement.
  13. Egli Jean (Winkelriedstrasse 26 3014 Bern CHX) Heyraud Marc (La Chaux-de-Fonds CHX), Variable colorant blender.

이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Vu, Kim Ngoc, Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates.
  2. Vu, Kim Ngoc, Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks.
  3. Berry, Norman Michael; Nakazawa, Akira; Silverbrook, Kia, Ink manifold with multiple conduit shut off valve.
  4. DiPrizio, Anthony C.; Abbott, Nathan; Vroman, Christopher; Patel, Rajnikant B.; McNamara, Eric, Low-profile surface mount filter.
  5. DiPrizio, Anthony; Abbott, Nathan; Vroman, Christopher; Patel, Rajnikant B.; McNamara, Eric, Low-profile surface mount filter.
  6. DiPrizio, Anthony; Abbott, Nathan; Vroman, Christopher; Patel, Rajnikant B.; McNamara, Eric, Low-profile surface mount filter.
  7. Manofsky, Jr., William L.; Redemann, Eric J.; Julian, Donald H., Manifold system for gas and fluid delivery.
  8. Giese,Gregory C.; Gribb,Tye Travis, Modular fluid handling device.
  9. Vu,Kim, Modular substrate gas panel having manifold connections in a common plane.
  10. Berry, Norman Micheal; Nakazawa, Akira; Silverbrook, Kia, Printhead cartridge for releasable mounting in a printer.
  11. Taskar, Mark, Universal fluid flow adaptor.
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