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Covered photomask holder and method of using the same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B25B-005/16
출원번호 US-0116431 (2002-04-04)
발명자 / 주소
  • Parker, Jeffrey B.
출원인 / 주소
  • DuPont Photomasks, Inc.
대리인 / 주소
    Baker Botts L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 30

초록 ▼

A covered photomask holder and a method of using the covered photomask holder are disclosed. A photomask holder includes a gripping mechanism to engage and retain a component with the photomask holder. A handle is coupled to the gripping mechanism that manipulates the gripping mechanism. A protectiv

대표청구항 ▼

A covered photomask holder and a method of using the covered photomask holder are disclosed. A photomask holder includes a gripping mechanism to engage and retain a component with the photomask holder. A handle is coupled to the gripping mechanism that manipulates the gripping mechanism. A protectiv

이 특허에 인용된 특허 (30)

  1. Kirkpatrick, John, Apparatus and method for securely carrying a substrate.
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  2. Boyle Edward F. (Gig Harbor WA) Wilkins G. Scott (Gig Harbor WA), Apparatus for handling sensitive material such as semiconductor wafers.
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  3. Podvin T. Charles (Poway CA) Porter Gene A. (Escondido CA), Apparatus for positioning flat objects for microscopic examination.
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  4. Hattori Isao (Kanagawa JPX), Carrier for photomask substrate.
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  5. Tabuchi Kazuhiro (Tokyo JPX) Inomata Hiroyuki (Tokyo JPX) Yamauchi Takashi (Tokyo JPX), Case for photomask.
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  6. Fieberg Russell F. (25282 Tasman Rd. Laguna Hills CA 92653) Fieberg Donald E. (25282 Tasman Rd. Laguna Hills CA 92653), Connector wrench holder.
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  7. Nakazato Hiroshi (Ohme JPX) Iijima Mamoru (Yokohama JPX), Dust-proof container having improved construction for holding a reticle therein.
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  8. Allison Quincy D. (Boulder Creek CA) Hendricsen Howard W. (Los Altos CA), Hand-operated reciprocating bellows for electronic component pickup.
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  9. Schertler Roman (Wolfurt ATX), Holding arrangement for a planar workpiece and at least one such holding arrangement.
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  10. Matsuoka Noriyuki (Yokohama JPX) Uratsuji Kazumi (Tokyo JPX) Abe Shunji (Yokohama JPX), IC carrier.
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  11. Nichols Ernest C., Manual wafer lift.
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  12. Grabbe Dimitry G. (Middletown PA) Korsunsky Iosiff (Harrisburg PA), Manufacturing method for integrated circuit chip carriers and work holder for use in the method.
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  13. Li Meng-Chun,TWX ; Liu Hsieh-Mei,TWX, Mask pellicle remove tool.
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  14. Guarino Nicholas (Arlington MA), Module positioning apparatus.
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  15. Wang Ching-Bore, Optical pellicle and package.
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  16. Yen Yung-Tsai (196 Tuscaloosa Ave. Atherton CA 94025), Optical pellicle holder.
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  17. Beldyk David A. (Poughkeepsie NY) Hegeman Cramer C. (Danbury CT), Pellicle packaging and handling system.
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  18. Winn Ray (11803 Addison St. North Hollywood CA 91607), Photomask carrier and container for photomask carrier.
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  19. Tsutsui Shinji (Kawasaki JPX) Shimoda Isamu (Zama JPX), Photomask positioning device.
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  20. Fraser David Bruce (Berkeley Heights NJ), Photomasks with antistatic control.
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  21. Oshima Noriaki (Yokohama JPX) Uchikura Masaki (Sagamihara JPX) Ohno Hideki (Yokohama JPX), Protective dust cover for photomask or reticle.
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  22. Catey Eric B. ; Hult David ; Puerto Santiago del ; Roux Stephen, Removable cover for protecting a reticle, system including and method of using the same.
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  23. Laganza Joseph ; Yap Hoon-Yeng ; Cruz Teodorico A. ; Magnussen Erik ; Dunning Craig S., Reticle container with corner holding.
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  24. Chin Aland K. (Sharon MA) Ford ; Jr. John W. (Framingham MA) Forouhar Siamak (Pasadena CA), Semiconductor holding fixture and method.
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  25. Gras Ranulf W. (Lincoln MA), Substrate carrier.
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  26. Yamauchi Takashi (Tokyo JPX), Substrate holding case.
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  27. Faesel Dennis W., Tool for manipulating an electrical connector and method of use.
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  28. Nahring Herbert (Rodenbach DEX) Wolf Hans (Erlensee DEX) Mulderer Jurgen (Alzenau DEX), Transport device for substrates to be coated in a vacuum coating system.
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  29. Williams Randall S., Wafer carrier.
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  30. Myers Charles C. (Pleasant Valley NY) Spence James E. (LaGrangeville NY), Workpiece handler.
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이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Lenox,Richard J., Apparatus for kinematic registration of a reticle.
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  2. Rebstock, Lutz, Integrated gripper for workpiece transfer.
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  3. Lenox, Richard J., Method and apparatus for kinematic registration of a reticle.
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