[특허]Liner for use in processing chamber

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Liner for use in processing chamber 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B65B-001/04 B65B-003/04 B67C-003/02
출원번호	US-0095441 (2002-03-13)
발명자 / 주소	Donohoe, Kevin G.
출원인 / 주소	Micron Technology, Inc.
대리인 / 주소	Dickstein Shapiro Morin & Oshinsky LLP
인용정보	피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 11

초록 ▼

A container for use in a processing chamber to lessen the amount of contaminant particles found within the chamber after processing. The container fits closely within the chamber and includes ports for a gas conduit and a vacuum conduit. The container may be locked to the chamber through a locking mechanism and a recess in the container. The container may be guided into the chamber with a plurality of chamfers. The container may be used in inductively coupled plasma chambers, electron cyclotron resonance chambers, and chambers capable of receiving microwaves.

대표청구항 ▼

이 특허에 인용된 특허 (11)

Muka Richard S. (Topsfield MA) Pippins Michael W. (Hamilton MA) Drew Mitchell A. (Portsmouth NH), Batchloader for substrate carrier on load lock.
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Parikh Mihir (San Jose CA) Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Faraco W. George (Saratoga CA) Huang Barney H. (Sunnyvale CA), Container having disposable liners.
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Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Oen Joshua T. (Newark CA), Direct loadlock interface.
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Kevin G. Donohoe, Liner for use in processing chamber.
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Roberson ; Jr. Glenn A. ; Genco Robert M. ; Eglinton Robert B. ; Comer Wayland ; Mundt Gregory K., Molecular contamination control system.
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Tullis Barclay J. (Palo Alto CA) Parikh Mihir (San Jose CA) Thrasher David L. (Menlo Park CA) Johnston Mark E. (Saratoga CA), Particle-free dockable interface for integrated circuit processing.
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Romm Douglas W. (Sherman TX) Nye Larry W. (Sherman TX) Head Michael R. (Colbert OK), Quick cure exhaust manifold.
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Gentischer Josef (Weinbergweg 31 73630 Remshalden DEX), System for transferring substrates into clean rooms.
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Ono Yuji (Sagamihara JPX) Mihara Katsuhiko (Hachioji JPX), Treatment system including a plurality of treatment apparatus.
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Bonora Anthony C. ; Wartenbergh Robert P. ; Gomes Christopher, Two stage valve for charging and/or vacuum relief of pods.
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Muka Richard S., Vacuum integrated SMIF system.
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이 특허를 인용한 특허 (1)

Donohoe,Kevin G., Liner for use in processing chamber.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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