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Temperature-controlled thermal platform for automated testing

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01R-031/02
  • G01R-031/26
  • G01R-001/04
출원번호 US-0908149 (2001-07-18)
발명자 / 주소
  • Stone, William M.
출원인 / 주소
  • Temptronic Corporation
대리인 / 주소
    Mills & Onello LLP
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 21

초록

A temperature-controlled system and method for supporting a wafer or packaged integrated circuit (IC) under test are described. The system includes a thermal platform having a top surface assembly on which the wafer or IC can be mounted. A thermal plate is located under and in thermal communication

대표청구항

1. A temperature-controlled system for supporting a workpiece comprising: a top surface assembly on which the workpiece can be mounted; a thermal plate in thermal communication with the top surface assembly, the thermal plate being formed of a porous thermally conductive material; a fluid in

이 특허에 인용된 특허 (21)

  1. Turner, Jonathan E., Active power monitoring using externally located current sensors.
  2. Olsen, Douglas S.; Stura, David, Apparatus and method for controlling temperature in a device under test using integrated temperature sensitive diode.
  3. Olsen, Douglas S.; Stura, David, Apparatus and method for controlling temperature in a wafer using integrated temperature sensitive diode.
  4. DiBattista, Larry; Malinoski, Mark; Shitara, Tomoya, Apparatus and method for temperature control of IC device during test.
  5. Peters Alfred C. (Garland TX), Apparatus for controlling the temperature of an integrated circuit package.
  6. Fu Deng-Yuan (Sunnyvale CA), Computer-implemented method and system for precise temperature control of a device under test.
  7. Ward Britton N., Condensation-free apparatus and method for transferring low-temperature fluid.
  8. Miyata Eiji (Fuchu) Sugiyama Masahiko (Nirasaki) Kohno Masahiko (Yamanashi) Hatta Masataka (Yamanashi JPX), Electric probing-test machine having a cooling system.
  9. Minning Charles P. ; Wolfe Douglas W. ; Schroeder John H., Electronic assembly with porous heat exchanger and orifice plate.
  10. Sauerland Franz L. (Chagrin Falls OH), Electronic component temperature test system with flat ring revolving carriage.
  11. Michiro Takano JP; Osamu Katada JP, Heat-treating apparatus capable of high temperature uniformity.
  12. Beaton Bradford P. (West Columbia SC) Rankin Michael C. (West Columbia SC) Brumble Frederick D. (Columbia SC), Memory and apparatus for a thermally accelerated reliability testing.
  13. Burward-Hoy Trevor, Method and apparatus for rapidly varying the operating temperature of a semiconductor device in a testing environment.
  14. Hendrickson Ruth Ann ; Hofmeister Christopher ; Muka Richard S., Method for heating or cooling wafers.
  15. Kanai Masahiro (Tokyo JPX), Microwave plasma chemical vapor deposition apparatus for continuously preparing semiconductor devices.
  16. Clarence E. Cowan ; Paul A. Tervo ; John L. Dunklee, Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current.
  17. Cowan, Clarence E.; Tervo, Paul A.; Dunklee, John L., Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current.
  18. Eager George (Cambridge MA) Selverstone Pater (Cambridge MA), Temperature control for device under test.
  19. Thomas P. Jones ; Jonathan E. Turner ; Mark F. Malinoski, Temperature control of electronic devices using power following feedback.
  20. Paul A. Getchel ; Kenneth M. Cole, Sr. ; Henry A. Lyden, Temperature control system for a workpiece chuck.
  21. Pappas William D. ; Raisanen Walfred R., Temperature controlled gravimetric moisture analyzer and method therefor.

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Di Stefano, Thomas H., Apparatus to control device temperature utilizing multiple thermal paths.
  2. Di Stefano, Thomas H., Apparatus to control device temperature utilizing multiple thermal paths.
  3. Klett,James W.; Stinton,David P., Humidifier for fuel cell using high conductivity carbon foam.
  4. Di Stefano, Thomas H., Method and apparatus for controlling temperature.
  5. Ward, Britton N.; Elsdoerfer, Norbert W., Temperature system having an impurity filter.
  6. Stone, William M., Temperature-controlled thermal platform for automated testing.
  7. Kang,Seung H.; Karthikeyan,Subramanian; Merchant,Sailesh M., Test semiconductor device and method for determining Joule heating effects in such a device.
  8. Kang,Seung H.; Karthikeyan,Subramanian; Merchant,Sailesh M., Test semiconductor device and method for determining Joule heating effects in such a device.
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