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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0032184 (1998-02-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 32 |
The present invention includes electronic device workpieces, methods of semiconductor processing and methods of sensing temperature of an electronic device workpiece. In one aspect, the invention provides an electronic device workpiece including: a substrate having a surface; a temperature sensing d
1. A semiconductor workpiece comprising: a semiconductive substrate having a substrate surface; a cavity including plural sloped sidewalls and a bottom wall within the substrate; a temperature sensing device provided within the cavity and supported by the substrate surface of the substrate,
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