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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0267449 (2002-10-08) |
우선권정보 | JP-0253771 (2001-08-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 10 |
Information from fan filter units and differential pressure gauges provided in a ceiling of a clean room is used to control directions and volumes of air flows blown from respective fan filter units. In order to improve a wind velocity distribution in the clean room, pressure in a ceiling chamber is
1. A clean room comprising:a fan filter unit control system including fan filter units provided in a ceiling of the clean room and a control device for controlling the fan filter units; anddifferential pressure gauges provided in a ceiling chamber of the clean room,wherein revolution speeds of fan m
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