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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0874653 (2001-06-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 26 |
A method and apparatus for sealing gas ports in CVD/CVI furnaces and processes is disclosed. A fluid direction nozzle ( 160 ) is positioned between a top lip ( 101 ) of a gas inlet port ( 100 ) delivering a reactant gas (G) to a furnace compartment ( 200 ) in a CVD/CVI furnace ( 10 ) and correspondi
1. A gas inlet port assembly for a CVD/CVI furnace having a furnace compartment and a CVD/CVI process apparatus with a plurality of holes, said gas inlet port assembly comprising:a plurality of gas inlet ports delivering process gas to said furnace compartment; anda plurality of flow direction nozzl
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