최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0092336 (2002-03-06) |
우선권정보 | JP-0062416 (2001-03-06) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 1 |
There is provided a manufacturing method of an optical device having a micro-asperity pattern that has various kinds of accurate three-dimensional shapes and is realized as thin films. A substrate is coated with a resin thin film made of a photosensitive resin, and the temperature of the resin thin
1. A manufacturing method of an optical device, comprising:coating a substrate with a resin thin film made of a photosensitive resin; controlling a temperature of the resin thin film to a temperature that is lower than the photosensitivity extinction temperature, of the resin thin film so as to soft
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.