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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0387567 (2003-03-14) |
우선권정보 | JP-0345139 (2000-11-13); JP-0008325 (2001-01-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 10 |
A continuous processing trap apparatus is capable of increasing the trapping efficiency while maintaining conductance required by a vacuum chamber. The trap apparatus includes an exhaust passage for evacuating a hermetically sealed chamber by a vacuum pump, a hermetically sealed trapping and regener
1. A trap apparatus comprising:an exhaust passage for evacuating a sealed chamber by a vacuum pump;a regenerating passage disposed adjacent to said exhaust passage;a sealed trapping and regenerating casing extending across said exhaust passage and said regenerating passage;a trap unit movably housed
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