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Proportional pressure regulator having positive and negative pressure delivery capability 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G05D-016/20
출원번호 US-0365930 (2003-04-11)
발명자 / 주소
  • Jones, Thomas R.
  • Khan, Zafar A.
출원인 / 주소
  • MAC Valves, Inc.
대리인 / 주소
    Bliss McGlynn, P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 16

초록

A proportional pressure regulator assembly having a main body with a first inlet adapted for fluid communication with supply of positive pneumatic pressure, a second inlet adapted for fluid communication with a supply of negative pneumatic pressure, an outlet adapted for fluid communication with a p

대표청구항

1. A proportional pneumatic pressure regulator assembly, said assembly comprising:a main body having a first inlet adapted for fluid communication with a supply of positive pneumatic pressure, a second inlet adapted for fluid communication with a supply of negative pneumatic pressure, at least one o

이 특허에 인용된 특허 (16)

  1. Irokawa Kenji,JPX ; Aki Tomohiko,JPX, Automatic pneumatic pressure control apparatus and method of controlling same.
  2. Irokawa Kenji,JPX ; Aki Tomohiko,JPX, Automatic pneumatic pressure control apparatus and method of controlling same.
  3. Adams Paul R. ; Gabel Karl J. ; Roper Daniel G., Diagnostic device and method for pressure regulator.
  4. Miller Alan L. (Chicago IL) Schultz Susan W. (Boxford MA) Umlauf William P. (Schererville IN), Dual clutch control system.
  5. Torbert Walter (Newark CA) Struven Kenneth C. (San Carlos CA) Lorenzini Robert E. (Atherton CA) Bonora Anthony C. (Menlo Park CA), Floating subcarriers for wafer polishing apparatus.
  6. Adams Paul R. ; Gabel Karl J. ; Roper Daniel G., Intelligent pressure regulator.
  7. Adams Paul R. ; Gabel Karl J. ; Roper Daniel G., Intelligent pressure regulator.
  8. Robert Michael E. (Farmington Hills MI), Method and valve assembly for controlling a pilot signal.
  9. Morimoto Seiichi (Beaverton OR) Patterson Robert J. (Beaverton OR), Method of planarizing a dielectric formed over a semiconductor substrate.
  10. Attanasio Claude (Chalon Sur Saone FRX) Seigue Jean-Claude (Virey Le Grand FRX), Polishing machine with pneumatic tool pressure adjustment.
  11. Furuse Akio (Hachioji JPX) Honma Yoshihiro (Hachioji JPX), Pressure setting device.
  12. Grunes Howard ; Lowrance Robert B. ; Tepman Avi, Robot assembly.
  13. Metcalf Robert L., Semiconductor wafer polishing machine and method.
  14. Smith William S.,CRX ; Stover Shawn M., Solenoid valve control system.
  15. Shendon Norm (San Carlos CA) Struven Kenneth C. (San Carlos CA) Kolenkow Robert J. (Berkeley CA), Wafer polisher head having floating retainer ring.
  16. Numoto Minoru,JPX, Wafer polishing apparatus.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. Kohler,Raymond, Converter method, system and apparatus.
  2. Hezeltine,Alton W., Fastener installation systems.
  3. Hezeltine,Alton W., Fastener installation tool.
  4. Sim, Tae-seok; Park, Chin-sung, Fluid control apparatus.
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