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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0285348 (2002-10-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 10 |
A method for monitoring the capability of a source container comprising liquid or solid source material to produce vaporized source material comprises extracting vaporized source material from the source container. The source container is then isolated and a property indicative of the partial pressu
1. A method for monitoring the capability of a liquid or solid source container to produce vaporized source material comprising:reducing an amount of vaporized source material in the source container; isolating the source container;measuring a property value that is indicative of partial pressure of
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