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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0954705 (2001-09-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 35 |
A method wherein a thermal gradient over a substrate enhances Chemical Vapor Deposition (CVD) at low pressures. An upper heat source is positioned above the substrate and a lower heat source is positioned below the substrate. The upper and lower heat sources are operated to raise the substrate tempe
1. A method of chemical vapor deposition on a substrate comprising:a) placing a substrate on a carrier in a deposition chamber;b) rotating said substrate;c) heating said substrate, said heating applied to create a temperature gradient in the range of 50° C. to 100° C. per inch above a depo
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