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특허 상세정보

Purification of gaseous inorganic halide

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) C01B-035/06   
미국특허분류(USC) 423/210; 423/240.S; 423/293; 423/292; 423/301; 423/462; 423/489
출원번호 US-0592030 (2000-06-12)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 18
초록

The present invention provides an apparatus and method for the purification of gaseous inorganic halides utilizing a reactive metal and molecular sieves to remove impurities.

대표
청구항

1. A process for purifying gaseous inorganic halides comprising contacting a crude gaseous inorganic halide with a substance comprising a reactive material, wherein the reactive material reacts with impurities in the crude gaseous inorganic halide to thereby remove the impurities from the gaseous inorganic halide, and wherein said gaseous inorganic halide is selected from the group consisting of BF 3 , BCl 3 , GeF 4 , PF 3 , PF 5 , AsF 3 , AsF 5 , SbF 3 , SbF 5 , and mixtures thereof. 2. A process according to claim 1 wherein the reactive materi...

이 특허에 인용된 특허 (18)

  1. Fukuda Hideki,JPX ; Otsuka Kenji,JPX ; Arakawa Satoshi,JPX. Cleaning agent and cleaning process for harmful gas. USP1999035882615.
  2. Armini Anthony J. (19A Desmond Ave. Manchester MA 01944). Ion source generator auxiliary device. USP1994055309064.
  3. Becker Aaron J. (Monroeville PA) Careatti Don R. (Apollo PA). Low temperature method of producing boron trichloride in a molten bath. USP1977054024221.
  4. Gehringer Ronald C. (239 E. Main St. Cary IL 60013). Method for hydrofluoric acid digestion of silica/alumina matrix material for the production of silicon tetrafluoride, al. USP1993095242670.
  5. Schmidt Frederick A. (Ames IA) Rehbein David (Ames IA) Chiotti Premo (Ames IA). Method of preparing silicon from sodium fluosilicate. USP1984054446120.
  6. Kitsugi Naomichi (Tokorozawa JPX) Fujinaga Teruo (Kawagoe JPX) Otsuka Toyozo (Kamifukuoka JPX). Method of refining silicon tetrafluoride gas. USP1984074457901.
  7. Teller Aaron J. (Great Neck NY). Method of removing hydrogen sulfide from gases. USP1976013935294.
  8. Olson Robert S. (Lafayette CA). Method of separating HF and SiF4 from HCl. USP1987124714604.
  9. Nordquist ; Jr. Paul E. R. (Alexandria VA) Singer Arnold H. (Alexandria VA). Preparation of ultra-pure metal halides. USP1990104965055.
  10. Akita Noboru (Hiratsuka JPX) Hatakeyama Toshiya (Hiratsuka JPX) Shimada Takashi (Hiratsuka JPX) Iwata Keiichi (Hiratsuka JPX). Process for cleaning harmful gas. USP1997015597540.
  11. Akita Noboru (Hiratsuka JPX) Hatakeyama Toshiya (Hiratsuka JPX) Shimada Takashi (Hiratsuka JPX) Iwata Keiichi (Hiratsuka JPX). Process for cleaning harmful gas. USP1995015378444.
  12. Otsuka Kenji,JPX ; Arakawa Satoshi,JPX ; Nawa Youji,JPX. Process for cleaning harmful gas. USP1998055756060.
  13. Sanjurjo Angel (San Jose CA) Pressacco Sylvia (Menlo Park CA). Process for purification of solid material. USP1989054828814.
  14. Kawamura Tatsuya (Tokuyama JPX) Akatsu Makoto (Tokuyama JPX) Ishimoto Hiroyasu (Tokyo JPX). Process for recovering boron trifluoride. USP1994125371052.
  15. Evans Francis E. (Hamburg NY) Schroeder Kenneth H. (Wilmington DE) Wagner William J. (Hamburg NY). Process for recovering boron trifluoride from an impure gaseous boron trifluoride residue. USP1990074943423.
  16. Rajoria Dalbir S.. Purification of diborane. USP2000126165434.
  17. Kray William D. (Burnt Hills NY) Razzano John S. (Cohoes NY). Purification of silicon halides. USP1988074755370.
  18. Madgavkar Ajay M. (Pittsburgh PA) Bartek Robert (Windber PA). Recovery of boron trifluoride from a hydrocarbon liquid. USP1981044263467.