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Quartz glass crucible for pulling up silicon single crystal and production method therefor

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-015/10
출원번호 US-0987463 (2001-11-14)
우선권정보 JP-0159880 (1998-05-25); JP-0022628 (1999-01-29)
발명자 / 주소
  • Sato, Tatsuhiro
  • Mizuno, Shigeo
  • Ohama, Yasuo
출원인 / 주소
  • Shin Etsu Quartz Products Co., Ltd.
대리인 / 주소
    Arent Fox PLLC
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 7

초록

Provided are a quartz glass crucible for pulling up a silicon single crystal, with which not only a defectless silicon single crystal can be pulled but a single crystallization ratio can greatly be improved and a production method therefor. The quartz glass crucible comprises a crucible body constit

대표청구항

1. A quartz glass crucible for pulling up a silicon single crystal, comprising a crucible base body constituted of a semi-transparent quartz glass layer and a transparent quartz glass layer formed on an inner wall surface of the crucible base body, characterized in that no expanded bubbles equal to

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Loxley Ted A. (3985 Ben Hur Ave. Willoughby OH 44094) Blackmer John F. (3985 Ben Hur Ave. Willoughby OH 44094), Cristobalite reinforcement of quartz glass.
  2. Watanabe Hiroyuki,JPX ; Sato Tatsuhiro,JPX ; Matsui Hiroshi,JPX, Method of manufacturing crucible for double-crucible crystal growing technique.
  3. Brown David R. (Beverly MA) Frost ; Jr. Charles E. (Exeter NH) White Kenneth A. (Raymond NH), Method of manufacturing quartz glass crucibles with low bubble content.
  4. Sato Tatsuhiro,JPX ; Mizuno Shigeo,JPX ; Matsumura Mitsuo,JPX ; Watanabe Hiroyuki,JPX, Quartz crucible with large diameter for pulling single crystal and method of producing the same.
  5. Nakajima Toshio (Oguni JPX) Hayashi Yuji (Oguni JPX) Tachibana Satoru (Oguni JPX) Takariki Kazuhiko (Oguni JPX), Quartz glass crucible for pulling a single crystal.
  6. Watanabe Hiroyuki,JPX ; Sato Tatsuhiro,JPX, Quartz glass crucible for pulling single crystal.
  7. Taguchi Hiroaki,JPX ; Atami Takashi,JPX ; Furuya Hisashi,JPX ; Fukui Masanori,JPX ; Kida Michio,JPX, Single crystal pulling apparatus.

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Ohama, Yasuo; Togawa, Takayuki, Quartz glass crucible for pulling up silicon single crystal and method for producing the same.
  2. Kemmochi,Katsuhiko; Ohama,Yasuo, Silica glass crucible with barium-doped inner wall.
  3. Kemmochi,Katsuhiko; Mosier,Robert; Ohama,Yasuo, Silica glass crucible with bubble-free and reduced bubble growth wall.
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