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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0213593 (2002-08-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 106 인용 특허 : 3 |
A technique for forming a film of crystalline material, preferably silicon. The technique creates a sandwich structure with a weakened region at a selected depth underneath the surface. The weakened region is a layer of porous silicon with high porosity. The high porosity enclosed layer is formed by
1. A method comprising:forming a porous layer with low porosity on a single crystalline substrate growing the single-crystal layer on the surface of said porous layer then increasing of porosity of the said porous layer by hydrogenation of the substrate in hydrogen plasmaseparating said non-porous l
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