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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0408269 (2003-04-08) |
우선권정보 | KR-0051783 (2000-09-02); KR-0068079 (2000-11-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 10 |
Disclosed is an element using a piezoelectric characteristic, and in particular, an SAW filter and a method for manufacturing the same. The SAW filter according to the invention is resistant to input wave of high power by employing ta-C or CNT as an acoustic wave transmission medium. The method for
1. A method for manufacturing a surface acoustic wave (SAW) filter, comprising:forming a tetrahedral amorphous carbon (ta-C) film on a substrate, wherein the ta-C film is deposited on the substrate by means of arc discharge with respect to black lead;forming a conductive film on the ta-C film;patter
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