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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0387058 (2003-03-12) |
우선권정보 | JP-0067040 (2002-03-12); JP-0027370 (2003-02-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 6 |
A turbo-molecular pump has a main body and a pump case for covering the main body. A first flange is integrally formed with the pump case for connection to a second flange integrally with a vacuum chamber. The flange of the pump case and the flange of the vacuum chamber are integrally connected toge
1. A turbo-molecular pump comprising:a main body; a pump case for covering the main body; a first flange integrally formed with the pump case for connection to a second flange integrally formed with a vacuum chamber; a plurality of fastening bolts for fastening the first flange to the second flange;
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