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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0626490 (2003-07-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 9 |
A CMP slurry pumping system and method which uses the slurry pump inlet pressure as input to the pump controller, and the controller adjusts pump speed to account for variations in inlet pressure.
1. A system for pumping slurry from a slurry source to a slurry output, said system comprising:a peristaltic pump having an inlet and an outlet; a de-ionized water source supplying pure water to the peristaltic pump; a slurry supply line communicating with the inlet of the pump; a slurry output line
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