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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0759095 (2004-01-20) |
우선권정보 | JP-0327241 (2003-09-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 8 |
A vaporizer is provided for delivering a solid source, such as arsenic for example that is vaporized in a crucible, into an arc chamber through a nozzle. The vaporizer includes a nozzle formed with a gas inlet port formed in upward orientation and located downward from the upper end of the inner sur
1. A vaporizer for vaporizing a solid source to deliver the vaporized source into an ionization chamber of an ion implantation apparatus, comprising:a nozzle having a gas inlet port formed in upward orientation, said gas inlet port being located a predetermined distance downward from an upper end of
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