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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0340231 (2003-01-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 62 |
An integrated mesopump-sensor suitable for disposition in two- and three-dimensional arrays having small dimensions is disclosed. One mesopump is formed of an electrostatically attractable flexible diaphragm disposed through cavities or pumping chambers formed between two opposing electrostatically
1. A sensing system comprising:an array of integrated cells for the sampling and detection of airborne chemical and biological species; and wherein each cell of the array of integrated cells comprises: a mesopump comprising a plurality of polymer layers forming a plurality of cavities; and a metaliz
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